TriboLab CMP
Tribolab CMP (トライボラボ CMP)
TriboLab CMPは、20年以上にわたるCMP特性評価の専門知識を前身製品(Bruker CP-4)と活用し、業界をリードするTriboLabプラットフォームに完全な機能を提供します。結果として得られる精度と測定の再現性により、CMPプロセス全体で必要とされる高い評価、検査、および継続的な機能テストが可能になります。TriboLab CMPは、CMPプロセスと消耗品の正確かつ完全な特性を得るための幅広い研磨圧力(0.05-50 psi)、速度(1〜500 rpm)、摩擦、音響放射、表面温度測定を提供できる唯一のプロセス開発ツールです。
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小スケールでのCMP研究開発に特化したシステム
- フルスケールの研磨プロセス環境を再現できるため、 製造設備を休止させて試験する必要はありません。
- これまでにない再現性、高精密な測定を実現します。
- 小さなサンプルで評価が可能なため、大幅なコスト削 減を図れます。
研磨プロセスをより把握するための解析機能と高いサンプリ ングレート
- 市販のいずれの装置よりも、過渡的な研磨現象をより視認化 することができます。
- 基板がパッドに触れる瞬間から、試験が完了するまで、高い サンプリングレートでデータを収集します。
- 取得した詳細なデータを通じて、初期段階でのプロセス開発 の決定を可能にします。
様々な種類や、異なるサイズのサンプルに適用できる高い 自由度を有した機器構成
- 実条件に合った様々なパッドコンディショナ、スラリー、パッド を用いて、多種多様なフラット材料の研磨加工を行えます。
- 4インチウェハヘッド（100mm）の全面にいくつも小さな試験片を簡単にセットできます。
- 様々なサンプルの装着に対応することで、高い自由度を実現 します。
Frequently Asked Questions
TriboLab CMP accommodates small coupons up to 100 mm (4”) wafers. Multiple wafer head and mounting options are available.
Wafer head and platen speeds for the TriboLab CMP system can range from 1 to 500 rpm. Polishing load ranges vary between 0.07 to 90 psi based on wafer size and head. Download the system brochure for a full list of specifications.
Yes. The system is designed for reliable, flexible, and cost-effective benchtop characterization that closely aligns with full-scale CMP conditions.
TriboLab CMP can use virtually any industry-standard pad, slurry, and conditioning disc. It also supports a programmable two-pump slurry and rinse delivery system.
Yes. The platform supports a wide range of materials. Bruker can advise on process parameters and connect you with partners for material-specific recipes when needed.
The system can record load, friction, temperature, acoustic emissions, speeds, and pressures from first contact to the end of the test.
More About Bruker's Mechanical Testing and Tribology Technology
TriboLab platforms support standard rotary, reciprocating, block-on-ring, four-ball, scratch, and indentation tests. Common methods include ASTM G99, G133, G77, D4172, and C1624. Equivalent ISO methods can typically be addressed through the same hardware and scripting.
The exact scope of the included installation and operator training depends on region and contract. Confirm details with your Bruker representative.
All TriboLab systems are modular. You can select drives, force and torque sensors, environmental chambers for temperature and humidity, liquid and electrochemical options, and advanced sensors to meet your application needs. If you are not sure which modules meet your needs, our experts can help.
Bruker provides applications consulting, troubleshooting, and best practice guidance, along with optional service plans for ongoing support, maintenance, and training.
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