Dektak XTL Automation
Dektak XTL bannerv v1

Perfilação de estilete compatível com medidor para GQ/CQ, com acesso de 300 mm total


The new Dektak XTL™ stylus profiler provides extremely accurate, repeatable, and reproducible metrology for a wide range of applications. With its ability to accommodate samples up to 350mm x 350mm, this system finally brings legendary Dektak performance to 200mm and 300mm wafer manufacturing.


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DektakXTL operator v1

 

The Dektak XTL features a small footprint and integrated isolation with interlocking doors, making it ideal for today's demanding production floor environments. Its dual-camera architecture enables enhanced spatial awareness, and its high level of automation enhances manufacturing throughput. Bruker's exclusive Vision64 advanced production interface with optional pattern recognition makes data collection an intuitive and repeatable process, and minimizes operator-to-operator variability.

New software features make the Dektak XTL the most powerful, easiest to use stylus profiler available. The system utilizes Vision64 software that is fully compatible with Bruker’s optical profiler line. The Vision64 software enables unlimited measurement sites, 3D mapping, and highly customized characterization with hundreds of built-in analysis tools.

Also use Vision Microform software to measure shapes such as radius of curvature. Use pattern recognition to minimize operator error and enhance measurement location accuracy. Data collection and 2D and 3D analysis are in one software package with an intuitive flow. Each system comes with a Vision software license which can be installed on a separate PC with Windows 7 OS so data analysis and reports can be created at your desk.

DektakXTLVision64 screenshot

Essa combinação única de desempenho superior e facilidade de uso fazem da solução Dektak XTL é o novo padrão para o monitoramento industrial da deposição de películas finas em painéis de toque, painéis solares, monitores de tela plana solar e semicondutores para a pesquisa e GA/CQ.

Perfilação de estilete compatível com medidor para GQ/CQ, com acesso de 300 mm total

O novo perfilador de estilete Dektak XTL™ oferece extrema precisão, repetição e reprodução em metrologia para uma ampla gama de aplicações. Podendo acomodar amostras de até 350 mm x 350 mm, esse sistema finalmente traz o famoso desempenho Dektak para a fabricação de "wafer" de 200 mm e 300 mm.

A solução Dektak XTL apresenta um isolamento compacto e integrado com portas de bloqueio, o que a torna ideal para os exigentes ambientes de produção atuais. Sua arquitetura com câmera dupla permite uma maior noção espacial, enquanto seu alto nível de automação aumenta o rendimento da fabricação. A interface de produção avançada Vision64, exclusiva da Bruker, com reconhecimento de padrão opcional, torna a coleta de dados um processo intuitivo e repetível, além de minimizar a variabilidade de operador para operador.

Essa combinação única de desempenho superior e facilidade de uso fazem da solução Dektak XTL é o novo padrão para o monitoramento industrial da deposição de películas finas em painéis de toque, painéis solares, monitores de tela plana solar e semicondutores para a pesquisa e GA/CQ.