ナノフォトン・シリーズ顕微鏡
RAMANファミリーのご紹介
ブルカーに新たに加わったRAMANファミリーは、精密光学とガルバノメータレーザー走査を組み合わせることで、研究ニーズにより最適化されることでしょう。ナノスケールを点ごとに探索するにしても、エリアイメージングでウェハ全体を分析するにしても、RAMANファミリーは対応可能です。RAMANtouch、RAMANwalk、RAMANdriveの独自の強みを発見してください。3つの装置のテクノロジーは、まさにラマン顕微鏡のゲームチェンジャーです。
ナノフォトンの高速化の要：ガルバノスキャン
ガルバノメータによるレーザースキャン方式は、ラマン顕微鏡が試料とのかかわり方を塗り替える革新的な技術です。この方式は従来のステージやステージ上に設置した移動方式よりも高速で安定性が高く、より多機能です。ナノフォトンの装置は、レーザースキャニングとステージ移動の両方を組み合わせることで、両方の長所（高精度・高速と広範囲）を兼ね備えた最適なソリューションを提供します。
ナノフォトンの装置では線状にしたレーザービームをガルバノミラーによって正確に走査します。このラインレーザービームがサンプル上の線上の各点を同時に励起します。
発せられたラマン散乱光は、空間フィルタリングと断面を光学的に切り出すための共焦点スリットを通過し、その後、波長ごとに光を分散させる分光器に入射します。分散された信号は、2次元的にピクセルを配列したCCD検出器によって検出されます。
ガルバノスキャンはさらに高速です。
ガルバノスキャナーは、電磁アクチュエータによって制御される超高感度ミラーを使用しており、レーザービームを正確に走査します。テーブル/ステージ全体を移動させるのではなく、レーザーは、物理的な接触や慣性力なしに、サンプル表面を高速で光学的に走査します。
舞台を照らすスポットライトが、俳優たちを追うように滑らかに正確に動く様子を想像してください。次に、固定された照明の下で舞台全体を移動させることを想像してください。瞬時に、その利点が明らかになります。
ナノフォトンはその技術にステージスキャンを組み合わせています。
伝統的なラマンシステムは、固定されたレーザービームの下で顕微鏡ステージ上に載せたサンプルを段階的に移動させるステージスキャン方式に依存しています。この機械的な方法は、遅延、振動のリスクが不可避で、イメージングする際の柔軟性も制限されてしまいます。
ナノフォトンのシステムは、ガルバノメータとモーター駆動式ステージのスキャンを組み合わせているため、両方の長所を兼ね備えています。光学ビームの高速移動により、視野内の細部を高速度で捕捉でき、同時にステージ移動により広範囲の領域をカバーできます。
異なる３つのレーザーモードがあります。
ナノフォトンのラマン顕微鏡では、ガルバノメータミラーがレーザーの光路をX軸とY軸方向に制御し、以下の機能を可能にします：
- Point Mode
正確な位置に焦点を合わせたスペクトル - Line Mode
サンプル全体にわたる高スループットのリニアスキャン - AreaFlashTM Mode
1回の励起で大きな範囲を捕捉する
| ガルバノメータースキャン | 従来のステージスキャン | |
| スピード | ミリ秒レベルのレーザーの動き | スピードが遅い機械式位置決め |
| 振動／ドリフト | 皆無（サンプルが動かない） | 振動やドリフトの可能性 |
| スキャンモード | ポイント、ライン、エリア | ポイント、３D |
| 精度 | サブミクロンオーダーのレーザー位置決め | ステージの機構により制限される |
| 柔軟性 | 必要に応じて（広範囲）ステージスキャン | ほとんどのシステムはステージだけ |
