3D光学プロフィロメトリー

3D サーフェス測定

歴史、開発、利点、アプリケーション

3D表面測定(3次元表面測定)は、重要な研究プロジェクト、重要な開発、基礎的な生産とプロセス制御の成功を促進するために、産業部門と科学界の両方で使用されます。3D表面測定パラメータ(Sパラメータ)は、1991年に最初のECワークショップの参加者によって定義され、その後、従来の2次元(2次元)計測Rパラメータを補完するためにISO規格に従って開発されました。

類似または同一の平均サーフェス粗さ値(Ra)を持つサーフェスは、サーフェスの地形が大きく異なる場合があります。これらのタイプのサーフェスをより良く量子化して区別するために、業界は3次元(3D)を開発し始めています。

3Dサーフェス計測の初期定義

標準の世界的な3D表面測定パラメータを開発するための初期の作業の多くは、ヨーロッパのコンソーシアムによって完了しました。彼らの仕事は4つの一般的なカテゴリーをもたらしました:振幅、空間的、ハイブリッドおよび機能。

振幅パラメータは、全体的な高さに基づいており、高さの分布の平方根平均平方、歪度(またはサーフェス高さ分布の非対称性の程度)、サーフェス高さ分布(尖度)のピークの度合い、および最高点と最低点の平均が含まれます。

空間パラメータはフィーチャの周波数に基づいており、サーフェスのテクスチャ方向、テクスチャアスペクト比、山頂の密度が含まれます。

高さと周波数の組み合わせに基づいて、ハイブリッドパラメータには、平均サミット曲率、開発された表面積比、およびサーフェススロープの根平均平方根が含まれます。

最後に、関数パラメーターには、特定の関数の適用性に基づくいくつかのパラメーターが含まれます。

3D表面計測の開発

研究開発エンジニアが3次元表面解析の利点を十分に理解し、Sパラメータがますます多くの図面に採用され、サプライヤーがこれらの仕様に拘束されるにつれて、3D表面測定の技術を使用することに対する最初の抵抗は最終的に克服されました。

3Dサーフェスパラメータは通信を改善するのに役立ち、従来のRパラメータだけでは実現できないプロセス制御が可能であることがわかりました。

3D サーフェス パラメータは 2D パラメータができない場所を区別する

類似または同一の平均サーフェス粗さ値(Ra)を持つサーフェスは、サーフェスの地形が大きく異なる場合があります。これらのタイプのサーフェスをより良く量子化して区別するために、業界は3次元(3D)標準を開発し始めています。

最新の3D表面計測

最新の3D表面測定により、エンジニア、プロセス設計者、品質管理の専門家は、3次元測定が表面形状だけでなく機能性を独自に区別するため、表面を記述するための大幅に改善されたツールキットを提供しています。そのすべてが、最終的には、表面のパフォーマンスを向上させます。

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