Hysitron TS 77 Select
Hysitron TS 77 Select ナノインテンター
Hysitron TS 77 Selectは、自動化された卓上型ナノメカニカル・ナノトライボロジー評価システムです。同クラスの装置の中でも優れた性能、機能性、そして操作性を提供します。
ナノメートルからマイクロメートルスケールにわたる機械特性およびトライボロジー特性を高い信頼性で評価し、定量的な特性評価を実現します。
また、In-situ SPMイメージング、準静的ナノインデンテーション、動的ナノインデンテーション（nanoDMA）、ナノスクラッチ、ナノ摩耗評価、高速機械特性マッピングなど、幅広い評価手法に対応し、卓上型システムでありながら多様なナノメカニカル評価を実現します。
TS 77 Select システム構成
1. 光学顕微鏡
2. サンプルステージ
3. 除振機能
4. エンクロージャー
5. ピエゾスキャナー
6. 静電容量型トランスデューサ
7. XYステージ
8. 花崗岩のフレーム
TS 77 Selectの主要評価機能
ナノインデンテーション ー 高精度な機械特性評価
局所的な微細構造、界面、微小表面形状、薄膜の硬さ、弾性率、クリープ特性、応力緩和挙動、破壊特性を評価できます。
In-situ SPMイメージング ー 表面形状と機械特性の相関解析
ナノメカニカル試験に使用する圧子をそのまま表面イメージングに利用することで、測定位置の高精度な位置決めを実現します。試験前の画像取得から測定、さらに試験後の画像取得までをシームレスに実施でき、信頼性の高い評価結果を提供します。
高速機械特性マッピング ー 高速データ取得による特性分布解析
従来のナノインデンテーション測定と比較して最大180倍高速なデータ取得を実現します。毎秒2回のナノインデンテーション測定により、不均質材料においても高分解能な機械特性マップを短時間で取得できます。
ナノ摩耗評価 ー 定量的なナノスケール摩耗評価
摩耗体積や摩耗速度を定量的に評価できます。荷重、スキャン速度、繰返し回数を制御しながら測定を行うことで、微細構造、界面、薄膜などのトライボロジー特性を評価できます。
動的ナノインデンテーション (nanoDMA) ー 深さ方向解析と粘弾性評価
準静的な荷重に微小な振動荷重を重畳することで、押込み深さに応じた硬さや弾性率を連続的に測定できます。静電容量式トランスデューサと高度な制御技術を活用し、深さ、周波数、時間に応じた機械特性を高精度に評価します。
ナノスクラッチ ー 摩擦特性・耐擦傷性・薄膜密着性評価
ナノスクラッチは、静電駆動式の二次元トランスデューサを用いて垂直荷重を高精度に制御しながら、圧子を試料表面上で移動させることで評価を行います。モーター駆動ステージに依存しない測定方式により、摩擦特性や薄膜密着性を高感度かつ高い信頼性で評価できます。
TS 77 Select 制御・解析ソフトウェア
シンプルな操作で測定からデータ解析まで効率化
TS 77 Selectの制御・解析ソフトウェアは、試料のセットアップから測定の実行、データ解析までのワークフローを効率化するために開発されています。
自動測定機能を搭載しており、シンプルで高スループットかつ再現性の高い評価を実現します。直感的なユーザーインターフェースにより、初めてのユーザーでも効率的に測定を行うことができます。