Micro-XRF on SEM

QUANTAX 마이크로 XRF

미량 원소 분석을 위한 SEM 업그레이드

XTrace Mounted on a SEM

XTrace 마이크로 spot X-레이 소스를 지원하는 QUANTAX Micro-XRF는 완전한 마이크로-XRF 분광계의 기능을 주사 전자현미경에 추가합니다. XTrace는 거의 모든 SEM의 자유 경사 챔버 포트에 잘 맞습니다. 사용자는 미량 원소 감도와 더욱 심층적인 XRF 분석 정보의 장점을 활용할 수 있습니다.

사용자 친화적인 SEM용 Micro-XRF 시스템

  • HyperMap을 이용한 분포 분석은 온라인 및 오프라인 분석을 위한 각 맵 포인트 마다 전체 스펙트럼을 저장합니다.
  • 시료는 위치 변경 없이 Micro-XRF 및 EDS로 분석할 수 있습니다.
  • 두 방법은 동일한 분석 소프트웨어 제품인 ESPRIT 2.0에서 통합됩니다.
  • XTrace는 정상적인 SEM 작동을 간섭하지 않고 대부분의 시간을 측정 위치에 머무를 수 있습니다.

    자금 투입이 필요 없는 완벽한 마이크로-XRF 분광계

    • 분석 결과를 독립형 시스템의 분석 결과와 비교
    • 이미지 틸팅으로 넓은 면적 맵핑 가능
    • 회절 피크를 억제하는 1차 방사 필터 선택 가능
    • SEM 전동식 스테이지 사용
    • 시료 틸트가 최소 스폿 크기를 생성할 수 있도록 허용