未知の多相含有材料の相同定と分布解析

図1.1:高合金Fe-Siセラミック複合体の微細構造を描いたパターンクォリティマップ。eFlash XSと、JSM IT200 SEM に搭載された XFlash EDS 検出器を使用して、EBSDとEDSマップを同時に取得しています。

QUANTAX ED-XSは 、 EDSとEBSDが完全に統合された システムです。EDS またはEBSD単独、もしくは両方の技術を同時に使用して、幅広い分析を行うことが可能です。革新的で強力な機能と最適化されたワークフローを組み合わせることで、データ収集プロセスが簡素化され、サンプルに存在する未知の結晶相の同定などの分析に対してSEMの効率を最大化します。

SEM の使用は、現在のすべてのフェーズを知らなくても、EBSD マップと EDS ハイパーマップを同時に取得することで最小化できます。EDS と EBSD データを含むマップは、その後オフラインで処理され、存在するすべてのフェーズを特定し、快適で効率的な方法で 、ESPRIT 2の超高速再分析速度を使用してマップを完成させます。