Micro-XRF on SEM

QUANTAX Micro-XRF

トレース元素解析用SEMのアップグレード

XTrace Mounted on a SEM

XTrace マイクロスポットX線ソースを備えたQUANTAX Micro-XRF では、Micro-XRF 分光器が持つ全ての性能が走査電子顕微鏡に加わっています。Xtraceは、ほぼ全てのSEMの傾斜チャンバーポートに実装でき、トレース元素の感度だけではなくXRF分析の詳細な情報によってユーザーに大きな利益をもたらします。

ユーザーフレンドリーなSEMのMicro-XRFシステム

  • HyperMapを備えた分布分析は、オンライン分析およびオフライン分析において各マップポイントの完全なスペクトルを保存します。
  • 試料は、位置の変更を行うことなく、Micro-XRF および EDSで分析することができます。
  • 両方のメソッドは、分析用の同じ総合ソフトウェアパッケージESPRIT 2.0に統合されています。
  • 通常のSEM操作において干渉は発生せず、Xtraceはほとんどの時間、測定ポジションに留まることができます。

    投資不要の総合的なmicro-XRF分光器

    • スタンドアローン・システムと比較した分析結果
    • 幅広い領域のマッピングが可能な画像タイリング
    • 回析ピークを抑制する、選択可能な基本放射線フィルター
    • SEM動力ステージの使用
    • 最小のスポットサイズを作成できるサンプル傾斜軸