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SEM観察

破壊などの挙動を走査電子顕微鏡でリアルタイム観察

走査電子顕微鏡(SEM)は光学顕微鏡よりはるかに高い倍率、分解能で材料を画像化、映像化する顕微鏡として広く普及しており、様々な試料の前処理技術と組み合わせることで材料のナノ・マイクロスケールの構造を把握することができます。このSEMとナノ機械的特性評価試験を組み合わせることでSEMで変形をリアルタイムで観察しながら、さまざまな材料の機械的特性をin-situで評価するナノスケールの材料特性評価に不可欠なハイブリッド技術となりました。.

ブルカーの Hysitron PI 85L SEM PicoIndenter および Hysitron PI 88 SEM PicoIndenter は、SEM中でのin-situナノ機械的特性評価試験のために開発されたシステムです。どちらのシステムも幅広い材料に対して試験を行うために定量的な荷重・変位データを検出します。試験項目には硬さ・弾性率測定のための標準的なナノインデンテーション試験、粒子やピラーの圧縮試験、ビームやカンチレバーの曲げ試験、引張試験などの項目があります。さらに、アップグレードオプションとして、PI 88はSEMの各種分析装置群(EBSD、EDSなど)や加工装置群(FIBなど)とPI88によるナノ機械的特性評価試験をシームレスに組み合わせるために開発された試料ステージ(傾斜機能および回転機能有)を搭載可能です。

PI 85l SEM Picoindenter icon

PI 85L SEM PicoIndenter

SEM(走査電子顕微鏡)中で行うin-situナノ力学特性評価ベーシックモデル

 

TS 75 Product image v1

TS 75 TriboScope

ブルカーのAFM(原子間力顕微鏡)に取り付けてナノインデンテーションを行う専用アタッチメント

PI 88 SEM Picoindenter icon

PI 88 SEM PicoIndenter

SEM、FIB/SEM中で行うin-situナノ力学特性評価ハイエンドモデル