Решения для полупроводниковых производств
Assess and Improve Semiconductor Manufacturing Processes
Bruker’s comprehensive suite of specialized technologies addresses the broadest range of metrology and process monitoring needs, from R&D to high-volume manufacturing process improvement. 75% of the world’s top 25 semiconductor manufacturers rely on Bruker instrumentation for their front-end and back-end applications. Our commitment to innovation also drives the advances that enable continual development of next-generation semiconductor devices.
Our dedicated semiconductor solutions include:
- Ellipsometry and Reflectometry — Thin film metrology systems for wafer and CD metrology to meet requirements not measurable with conventional equipment
- Automated X-ray Metrology — Systems for high-quality process monitoring, detailed R&D analysis of epilayer films, identification of substrate defects, front-end-of-line control of epi films and high-k dielectrics, and analysis of metal films and wafer-level packaging bumps
- Automated Atomic Force Microscopy — Systems to reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
- Photomask Repair — Systems to address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
- Cryo Dry Cleaning — Cryogenic CO2 process equipment to remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
- Surface Metrology — Topographic measurement and mechanical testing solutions for efficient process monitoring and control across the full range of applications
Метрологические решения для полупроводниковых производств
Подразделение Bruker Semiconductor разрабатывает, производит, реализует и сопровождает метрологические решения для тонкопленочных материалов, построенные на основе инновационной, бесконтактной и неразрушающей рентгеновской технологии. После присоединения к Bruker компании Jordan Valley Semiconductors, известной непревзойденным уровнем глобальной сервисной поддержки и обслуживания, 75% из 25 ведущих производителей проводников доверяют метрологическим инструментам Bruker для интерфейсного и серверного использования, включая собственную разработку тонких пленок нового поколения. Следуя принципам новаторства и технологического лидерства, компания Bruker постоянно совершенствует метрологические решения и уже удостоилась многочисленных наград и признания в отрасли.
В самых разных областях, от характеризации тонкопленочных материалов КС до анализа полупроводниковых подложек и обнаружения дефектов, системы Bruker выполняют анализ моделей и аппроксимацию. В полном объеме поддерживаются методы измерения HRXRD, XRR, WA-XRD и XRDI, благодаря чему исследователи, инженеры-технологи и разработчики получают абсолютно новые возможности. Будь то производитель полупроводников и пленок КС, опытно-конструкторский центр или академия либо НИИ промышленных материалов, Bruker всегда может предложить индивидуальное решение для ваших метрологических требований.
