Solutions de semi-conducteur
Assess and Improve Semiconductor Manufacturing Processes
Bruker’s comprehensive suite of specialized technologies addresses the broadest range of metrology and process monitoring needs, from R&D to high-volume manufacturing process improvement. 75% of the world’s top 25 semiconductor manufacturers rely on Bruker instrumentation for their front-end and back-end applications. Our commitment to innovation also drives the advances that enable continual development of next-generation semiconductor devices.
Our dedicated semiconductor solutions include:
- Ellipsometry and Reflectometry — Thin film metrology systems for wafer and CD metrology to meet requirements not measurable with conventional equipment
- Automated X-ray Metrology — Systems for high-quality process monitoring, detailed R&D analysis of epilayer films, identification of substrate defects, front-end-of-line control of epi films and high-k dielectrics, and analysis of metal films and wafer-level packaging bumps
- Automated Atomic Force Microscopy — Systems to reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
- Photomask Repair — Systems to address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
- Cryo Dry Cleaning — Cryogenic CO2 process equipment to remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
- Surface Metrology — Topographic measurement and mechanical testing solutions for efficient process monitoring and control across the full range of applications
Solutions de métrologie pour semi-conducteurs
Bruker Semiconductor développe, fabrique, commercialise et supporte des solutions de métrologie pour films minces qui sont basées sur une nouvelle technologie rapide des rayons sans contact et non destructive. Avec l’acquisition par Bruker de Jordan Valley Semiconductors, un nom synonyme de support et de service client international incomparable, 75 % des 25 plus grands fabricants de semi-conducteurs au monde s'appuient sur les outils de métrologie de Bruker pour des applications « front-end » et « back-end », y compris pour le développement de leurs films minces de la prochaine génération. L’engagement de Bruker pour être à la tête de l’innovation et de la technologie conduit à de nouvelles avancées continues en métrologie et a été récompensé par de nombreux prix et reconnaissances du marché.
Dans des applications allant de la caractérisation des matériaux de films minces C-S à la détection des défauts et l’analyse des substrats de plaquettes, les systèmes de Bruker permettent d'analyser les simulations et de les adapter. Les types de mesure HRXRD, XRR, WA-XRD, et XRDI sont complètement supportés, offrant des capacités inégalées aux chercheurs, ingénieurs de production et développeurs de processus. Que vous soyez un fabricant de semi-conducteurs et de C-S, une université ou un centre de R&D ou encore un laboratoire de recherche sur les matériaux de l’industrie, Bruker a une solution spécifiquement conçue pour les besoins de votre métrologie.
