Solutions de semi-conducteur

Solutions de métrologie et d'équipement de processus pour les processus de fabrication de semi-conducteurs actuels et futurs.

Solutions de métrologie pour semi-conducteurs

Bruker Semiconductor développe, fabrique, commercialise et supporte des solutions de métrologie pour films minces qui sont basées sur une nouvelle technologie rapide des rayons sans contact et non destructive. Avec l’acquisition par Bruker de Jordan Valley Semiconductors, un nom synonyme de support et de service client international incomparable, 75 % des 25 plus grands fabricants de semi-conducteurs au monde s'appuient sur les outils de métrologie de Bruker pour des applications « front-end » et « back-end », y compris pour le développement de leurs films minces de la prochaine génération. L’engagement de Bruker pour être à la tête de l’innovation et de la technologie conduit à de nouvelles avancées continues en métrologie et a été récompensé par de nombreux prix et reconnaissances du marché.

Dans des applications allant de la caractérisation des matériaux de films minces C-S à la détection des défauts et l’analyse des substrats de plaquettes, les systèmes de Bruker permettent d'analyser les simulations et de les adapter. Les types de mesure HRXRD, XRR, WA-XRD, et XRDI sont complètement supportés, offrant des capacités inégalées aux chercheurs, ingénieurs de production et développeurs de processus. Que vous soyez un fabricant de semi-conducteurs et de C-S, une université ou un centre de R&D ou encore un laboratoire de recherche sur les matériaux de l’industrie, Bruker a une solution spécifiquement conçue pour les besoins de votre métrologie.

Automated-AFM

Automated AFM Metrology

Automated AFM metrology solutions reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
Wafer being cleaned with crygenic CO2 process

Cryo Dry Cleaning

Cryogenic CO₂ Cleaning Systems remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
SmartProber during measurement on silicon wafer

Current-In-Plane Tunneling (CIPT)

Current-In-Plane Tunneling is a very fast and cost effective method to characterize Magnetic Tunnel Junctions (MTJ’s).
Nanomechanical-Metrology-Tools-Teaser-BRUKER

Nanomechanical Metrology Tools

Automated metrology solutions deliver high-speed, high-resolution, highest-sensitivity mechanical property and/or interfacial adhesion measurements
photomask-repair

Photomask Repair

Precise, accurate photomask repair systems address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
Stylus Profilometers

Stylus Metrology

Surface roughness characterization, step height measurements, and film stress analyses
OVERVIEW-filmtek

Film Thickness and RI Semi Metrology

Specialized thin film metrology systems for wafer and CD metrology, designed to meet requirements not measurable with conventional equipment
Electronic-circuit-board-futuristic-server-code-teaser-STOCK

White Light Interferometry

Advanced WLI profilers provide robust metrology-based inspection for advanced packaging applications
TriboLab CMP Tribometer and Mechanical Tester

TriboLab CMP

R&D-scale process and material characterization system for wafer polishing processes
clean-bare-wafers-teaser

X-Ray Defect Inspection

Bruker defect detection systems detect crystalline defects, such as cracks, slip, dislocations, and micropipes on single-crystal substrates
close-up-of-patterned-wafer-teaser

X-Ray Metrology for Compound Semi

Diverse x-ray metrology systems deliver high-quality QC monitoring and detailed R&D analysis of epi-layer films
Silicon-patterned-wafer-teaser

X-Ray Metrology for Silicon Semi

Non-destructive x-ray metrology solutions for thin-films identifying substrate defects and performing front end of line control of epi films and high-k dielectrics, as well as analyzing metal films and wafer-level packaging bumps

Support

How Can We Help?

Bruker partners with our customers to solve real-world application issues. We develop next-generation technologies and help customers select the right system and accessories. This partnership continues through training and extended service, long after the tools are sold.

Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.