Soluzioni per semiconduttori

Attrezzatura operativa e soluzioni di metrologia per i processi di produzione di semiconduttori attuali e futuri

Soluzioni di metrologia per semiconduttori

Bruker Semiconductor sviluppa, produce, commercializza soluzioni di metrologia per film sottili, basate sulla nuova tecnologie a raggi X rapida, senza contatto e non distruttiva. Con l'acquisizione da parte di Bruker della Jordan Valley Semiconductors, un nome che è sinonimo di assistenza e supporto al cliente senza uguali a livello internazionale, il 75% dei 25 principali produttori mondiali di semiconduttori si affida agli strumenti di metrologia della Bruker per applicazioni di front-end e back-end, il che include lo sviluppo dei loro film sottili di ultimissima generazione. L'impegno di Bruker per l'innovazione e la tecnologia comporta l'avanzamento continuo nei nuovi sviluppi in metrologia, collezionando numerosi premi e riconoscimenti industriali.

I sistemi Bruker forniscono analisi di simulazione e adeguamento in applicazioni che spaziano dalla caratterizzazione dei materiali dei film sottili C-S all'analisi del substrato del wafer e alla rilevazione dei difetti. I tipi di misurazioni HRXRD, XRR, WA-XRD e XRDI sono completamente supportati, permettendo ai ricercatori, ai tecnici di produzione e agli sviluppatori di processo possibilità senza precedenti. Bruker ha sempre una soluzione progettata in modo specifico per le vostre esigenze di metrologia, che siate un produttore C-S, un centro di R&D o un'accademia, oppure uno stabilimento industriale di ricerca sui materiali.

Automated-AFM

Automated AFM Metrology

Automated AFM metrology solutions reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
Wafer being cleaned with crygenic CO2 process

Cryo Dry Cleaning

Cryogenic CO₂ Cleaning Systems remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
Nanomechanical-Metrology-Tools-Teaser-BRUKER

Nanomechanical Metrology Tools

Automated metrology solutions deliver high-speed, high-resolution, highest-sensitivity mechanical property and/or interfacial adhesion measurements
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Photomask Repair

Precise, accurate photomask repair systems address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
Stylus Profilometers

Stylus Metrology

Surface roughness characterization, step height measurements, and film stress analyses
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White Light Interferometry

Advanced WLI profilers provide robust metrology-based inspection for advanced packaging applications
clean-bare-wafers-teaser

X-Ray Defect Inspection

Bruker defect detection systems detect crystalline defects, such as cracks, slip, dislocations, and micropipes on single-crystal substrates
close-up-of-patterned-wafer-teaser

X-Ray Metrology for Compound Semi

Diverse x-ray metrology systems deliver high-quality QC monitoring and detailed R&D analysis of epi-layer films
Silicon-patterned-wafer-teaser

X-Ray Metrology for Silicon Semi

Non-destructive x-ray metrology solutions for thin-films identifying substrate defects and performing front end of line control of epi films and high-k dielectrics, as well as analyzing metal films and wafer-level packaging bumps

Support

How Can We Help?

Bruker partners with our customers to solve real-world application issues. We develop next-generation technologies and help customers select the right system and accessories. This partnership continues through training and extended service, long after the tools are sold.

Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.