Soluzioni per semiconduttori
Assess and Improve Semiconductor Manufacturing Processes
Bruker’s comprehensive suite of specialized technologies addresses the broadest range of metrology and process monitoring needs, from R&D to high-volume manufacturing process improvement. 75% of the world’s top 25 semiconductor manufacturers rely on Bruker instrumentation for their front-end and back-end applications. Our commitment to innovation also drives the advances that enable continual development of next-generation semiconductor devices.
Our dedicated semiconductor solutions include:
- Ellipsometry and Reflectometry — Thin film metrology systems for wafer and CD metrology to meet requirements not measurable with conventional equipment
- Automated X-ray Metrology — Systems for high-quality process monitoring, detailed R&D analysis of epilayer films, identification of substrate defects, front-end-of-line control of epi films and high-k dielectrics, and analysis of metal films and wafer-level packaging bumps
- Automated Atomic Force Microscopy — Systems to reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
- Photomask Repair — Systems to address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
- Cryo Dry Cleaning — Cryogenic CO2 process equipment to remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
- Surface Metrology — Topographic measurement and mechanical testing solutions for efficient process monitoring and control across the full range of applications
Soluzioni di metrologia per semiconduttori
Bruker Semiconductor sviluppa, produce, commercializza soluzioni di metrologia per film sottili, basate sulla nuova tecnologie a raggi X rapida, senza contatto e non distruttiva. Con l'acquisizione da parte di Bruker della Jordan Valley Semiconductors, un nome che è sinonimo di assistenza e supporto al cliente senza uguali a livello internazionale, il 75% dei 25 principali produttori mondiali di semiconduttori si affida agli strumenti di metrologia della Bruker per applicazioni di front-end e back-end, il che include lo sviluppo dei loro film sottili di ultimissima generazione. L'impegno di Bruker per l'innovazione e la tecnologia comporta l'avanzamento continuo nei nuovi sviluppi in metrologia, collezionando numerosi premi e riconoscimenti industriali.
I sistemi Bruker forniscono analisi di simulazione e adeguamento in applicazioni che spaziano dalla caratterizzazione dei materiali dei film sottili C-S all'analisi del substrato del wafer e alla rilevazione dei difetti. I tipi di misurazioni HRXRD, XRR, WA-XRD e XRDI sono completamente supportati, permettendo ai ricercatori, ai tecnici di produzione e agli sviluppatori di processo possibilità senza precedenti. Bruker ha sempre una soluzione progettata in modo specifico per le vostre esigenze di metrologia, che siate un produttore C-S, un centro di R&D o un'accademia, oppure uno stabilimento industriale di ricerca sui materiali.
