반도체 솔루션
Assess and Improve Semiconductor Manufacturing Processes
Bruker’s comprehensive suite of specialized technologies addresses the broadest range of metrology and process monitoring needs, from R&D to high-volume manufacturing process improvement. 75% of the world’s top 25 semiconductor manufacturers rely on Bruker instrumentation for their front-end and back-end applications. Our commitment to innovation also drives the advances that enable continual development of next-generation semiconductor devices.
Our dedicated semiconductor solutions include:
- Ellipsometry and Reflectometry — Thin film metrology systems for wafer and CD metrology to meet requirements not measurable with conventional equipment
- Automated X-ray Metrology — Systems for high-quality process monitoring, detailed R&D analysis of epilayer films, identification of substrate defects, front-end-of-line control of epi films and high-k dielectrics, and analysis of metal films and wafer-level packaging bumps
- Automated Atomic Force Microscopy — Systems to reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
- Photomask Repair — Systems to address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
- Cryo Dry Cleaning — Cryogenic CO2 process equipment to remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
- Surface Metrology — Topographic measurement and mechanical testing solutions for efficient process monitoring and control across the full range of applications
반도체용 측정 솔루션
Bruker Semiconductor는 새로운 고속 비접촉, 비파괴 X-레이 기술의 기반인 박막용 측정 솔루션을 개발, 제조, 시판, 지원하고 있습니다. 탁월한 전 세계적 고객 서비스 및 지원으로 명성이 높은 Jordan Valley Semiconductors를 Bruker가 인수하며 전 세계 25대 반도체 제조업체 중 75%가 차세대 박막 개발 등 다양한 분야에 전면적으로 또는 이면적으로 Bruker 측정 도구를 사용하게 되었습니다. Bruker는 혁신과 기술적 리더십으로 측정 분야에서 새로운 진보를 앞장서 이끌고 있으며, 이는 수많은 수상 경력과 업계의 평판으로 증명이 됩니다.
C-S 박막 재료 특성화부터 웨이퍼 기질 분석, 결함 탐지에 이르기까지 다양한 분야에서 Bruker의 시스템이 시뮬레이션 분석 및 적용에 활용되고 있습니다. HRXRD, XRR, WA-XRD, XRDI 측정 유형이 완전히 지원되므로, 연구자와 생산 엔지니어, 공정 개발자 모두 탁월한 기능을 경험할 수 있습니다. Bruker는 고객의 측정 요구에 맞게 특화 설계된 솔루션을 제공하여, 반도체 업체, C-S 팹, R&D 센터, 아카데미, 산업 재료 연구소 등 어떠한 유형에도 대응해드릴 수 있습니다.
