Rozwiązania dla półprzewodników

Urządzenia procesowe i rozwiązania metrologiczne dla obecnych i przyszłych procesów produkcji półprzewodników.

Rozwiązania metrologiczne dla półprzewodników

Bruker Semiconductor opracowuje, produkuje, wprowadza do obrotu i oferuje wsparcie rozwiązań metrologicznych do cienkich błon, opartych na nowatorskiej, błyskawicznej, bezkontaktowej i nieniszczącej technologii rentgenowskiej. Po przejęciu przez firmę Bruker Jordan Valley Semiconductors, której nazwa jest synonimem najwyższej klasy obsługi klienta i wsparcia, 75% z 25 najważniejszych światowych producentów półprzewodników korzysta z narzędzi metrologicznych Bruker do zastosowań w procesach front-end i back-end, w tym do opracowywania cienkich błon kolejnej generacji. Zaangażowanie firmy Bruker na rzecz innowacyjności i jej wiodąca rola technologiczna jest motorem ciągłego postępu w metrologii, a sama firma zdobyła w tej dziedzinie liczne nagrody oraz zyskała sławę w branży.

Systemy firmy Bruker oferują analizę symulacji i dopasowanie w zastosowaniach takich jak np. charakterystyka materiałów do cienkich błon z półprzewodników domieszkowanych, analiza podłoża krzemowego i detekcja wad. Nasze systemy obsługują typy pomiarów takie jak HRXRD, XRR, WA-XRD i XRDI, oferując wyjątkowe możliwości badaczom, inżynierom produkcji oraz osobom opracowującym procesy. Firma Bruker posiada specjalnie opracowane rozwiązania do potrzeb metrologicznych dla producentów póprzewodników domieszkowanych, ośrodków BiR i uczelni, a także dla zakładów badawczych materiałów przemysłowych.

Automated-AFM

Automated AFM Metrology

Automated AFM metrology solutions reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
Wafer being cleaned with crygenic CO2 process

Cryo Dry Cleaning

Cryogenic CO₂ Cleaning Systems remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
Nanomechanical-Metrology-Tools-Teaser-BRUKER

Nanomechanical Metrology Tools

Automated metrology solutions deliver high-speed, high-resolution, highest-sensitivity mechanical property and/or interfacial adhesion measurements
photomask-repair

Photomask Repair

Precise, accurate photomask repair systems address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
Stylus Profilometers

Stylus Metrology

Surface roughness characterization, step height measurements, and film stress analyses
Electronic-circuit-board-futuristic-server-code-teaser-STOCK

White Light Interferometry

Advanced WLI profilers provide robust metrology-based inspection for advanced packaging applications
clean-bare-wafers-teaser

X-Ray Defect Inspection

Bruker defect detection systems detect crystalline defects, such as cracks, slip, dislocations, and micropipes on single-crystal substrates
close-up-of-patterned-wafer-teaser

X-Ray Metrology for Compound Semi

Diverse x-ray metrology systems deliver high-quality QC monitoring and detailed R&D analysis of epi-layer films
Silicon-patterned-wafer-teaser

X-Ray Metrology for Silicon Semi

Non-destructive x-ray metrology solutions for thin-films identifying substrate defects and performing front end of line control of epi films and high-k dielectrics, as well as analyzing metal films and wafer-level packaging bumps

Support

How Can We Help?

Bruker partners with our customers to solve real-world application issues. We develop next-generation technologies and help customers select the right system and accessories. This partnership continues through training and extended service, long after the tools are sold.

Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.