Rozwiązania dla półprzewodników
Assess and Improve Semiconductor Manufacturing Processes
Bruker’s comprehensive suite of specialized technologies addresses the broadest range of metrology and process monitoring needs, from R&D to high-volume manufacturing process improvement. 75% of the world’s top 25 semiconductor manufacturers rely on Bruker instrumentation for their front-end and back-end applications. Our commitment to innovation also drives the advances that enable continual development of next-generation semiconductor devices.
Our dedicated semiconductor solutions include:
- Ellipsometry and Reflectometry — Thin film metrology systems for wafer and CD metrology to meet requirements not measurable with conventional equipment
- Automated X-ray Metrology — Systems for high-quality process monitoring, detailed R&D analysis of epilayer films, identification of substrate defects, front-end-of-line control of epi films and high-k dielectrics, and analysis of metal films and wafer-level packaging bumps
- Automated Atomic Force Microscopy — Systems to reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
- Photomask Repair — Systems to address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
- Cryo Dry Cleaning — Cryogenic CO2 process equipment to remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
- Surface Metrology — Topographic measurement and mechanical testing solutions for efficient process monitoring and control across the full range of applications
Rozwiązania metrologiczne dla półprzewodników
Bruker Semiconductor opracowuje, produkuje, wprowadza do obrotu i oferuje wsparcie rozwiązań metrologicznych do cienkich błon, opartych na nowatorskiej, błyskawicznej, bezkontaktowej i nieniszczącej technologii rentgenowskiej. Po przejęciu przez firmę Bruker Jordan Valley Semiconductors, której nazwa jest synonimem najwyższej klasy obsługi klienta i wsparcia, 75% z 25 najważniejszych światowych producentów półprzewodników korzysta z narzędzi metrologicznych Bruker do zastosowań w procesach front-end i back-end, w tym do opracowywania cienkich błon kolejnej generacji. Zaangażowanie firmy Bruker na rzecz innowacyjności i jej wiodąca rola technologiczna jest motorem ciągłego postępu w metrologii, a sama firma zdobyła w tej dziedzinie liczne nagrody oraz zyskała sławę w branży.
Systemy firmy Bruker oferują analizę symulacji i dopasowanie w zastosowaniach takich jak np. charakterystyka materiałów do cienkich błon z półprzewodników domieszkowanych, analiza podłoża krzemowego i detekcja wad. Nasze systemy obsługują typy pomiarów takie jak HRXRD, XRR, WA-XRD i XRDI, oferując wyjątkowe możliwości badaczom, inżynierom produkcji oraz osobom opracowującym procesy. Firma Bruker posiada specjalnie opracowane rozwiązania do potrzeb metrologicznych dla producentów póprzewodników domieszkowanych, ośrodków BiR i uczelni, a także dla zakładów badawczych materiałów przemysłowych.
