Soluciones de semiconductores
Assess and Improve Semiconductor Manufacturing Processes
Bruker’s comprehensive suite of specialized technologies addresses the broadest range of metrology and process monitoring needs, from R&D to high-volume manufacturing process improvement. 75% of the world’s top 25 semiconductor manufacturers rely on Bruker instrumentation for their front-end and back-end applications. Our commitment to innovation also drives the advances that enable continual development of next-generation semiconductor devices.
Our dedicated semiconductor solutions include:
- Ellipsometry and Reflectometry — Thin film metrology systems for wafer and CD metrology to meet requirements not measurable with conventional equipment
- Automated X-ray Metrology — Systems for high-quality process monitoring, detailed R&D analysis of epilayer films, identification of substrate defects, front-end-of-line control of epi films and high-k dielectrics, and analysis of metal films and wafer-level packaging bumps
- Automated Atomic Force Microscopy — Systems to reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
- Photomask Repair — Systems to address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
- Cryo Dry Cleaning — Cryogenic CO2 process equipment to remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
- Surface Metrology — Topographic measurement and mechanical testing solutions for efficient process monitoring and control across the full range of applications
Soluciones de metrología para semiconductores
Bruker Semiconductor desarrolla, fabrica, comercializa y da asistencia a soluciones de metrología para películas delgadas que se basan en una tecnología de rayos X novedosa, rápida, sin contacto y no destructiva. Con la adquisición por parte de Bruker de Jordan Valley Semiconductors, un nombre sinónimo de servicio y asistencia al cliente mundial inigualables, el 75% de los veinticinco principales fabricantes de semiconductores del mundo confían en las herramientas de metrología de Bruker para aplicaciones front-end y back-end, incluyendo el desarrollo de sus películas finas de última generación. El compromiso de Bruker con la innovación y el liderazgo tecnológico impulsa el lanzamiento constante de nuevos avances en metrología y va cosechando numerosos premios y reconocimientos de la industria.
En aplicaciones que van desde la caracterización de materiales de películas delgadas hasta el análisis de sustratos de obleas y la detección de defectos, los sistemas de Bruker proporcionan análisis de simulación y ajuste. Los tipos de medición HRXRD, XRR, WA-XRD y XRDI son totalmente compatibles, lo que permite a los investigadores, ingenieros de producción y desarrolladores de procesos disponer de capacidades sin igual. Tanto si es usted un fabricante de semiconductores, una academia, un centro de I+D o una instalación de investigación de materiales industriales, Bruker tiene una solución específicamente diseñada para sus necesidades de metrología.
