Soluções de semicondutores

Equipamentos de processo e soluções de metrologia para processos de fabrico de semicondutores atuais e futuros

Soluções de metrologia para semicondutores

A Bruker Semiconductor desenvolve, fabrica, comercializa e apoia soluções de metrologia para filmes finos, cuja base assenta na tecnologia de raios X inovadora, rápida, sem contacto e não destrutiva. Com a aquisição da Jordan Valley Semiconductors por parte da Bruker, um nome que é sinónimo de serviço e suporte ao cliente inigualáveis a nível mundial, 75% dos 25 maiores fabricantes mundiais de semicondutores confiam nas ferramentas de metrologia da Bruker para aplicações front-end e back-end, incluindo o desenvolvimento dos seus filmes finos da próxima geração. O compromisso da Bruker para com a inovação e liderança tecnológica impulsiona o lançamento contínuo de novos avanços na metrologia e tem ganho inúmeros prémios e reconhecimento da indústria.

Nas aplicações que vão desde a caracterização de materiais de filmes finos C-S à análise de substratos de wafers e deteção de defeitos, os sistemas da Bruker oferecem análise de simulação e adequação. Os tipos de medição HRXRD, XRR, WA-XRD e XRDI são totalmente suportados, proporcionando aos investigadores, engenheiros de produção e desenvolvedores de processos capacidades inigualáveis. Quer seja uma academia, centro de I&D ou fabricante de semicondutores e C-S, ou uma instalação de investigação de materiais industriais, a Bruker tem uma solução especificamente concebida para as suas necessidades de metrologia.

Automated-AFM

Automated AFM Metrology

Automated AFM metrology solutions reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
Wafer being cleaned with crygenic CO2 process

Cryo Dry Cleaning

Cryogenic CO₂ Cleaning Systems remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
Nanomechanical-Metrology-Tools-Teaser-BRUKER

Nanomechanical Metrology Tools

Automated metrology solutions deliver high-speed, high-resolution, highest-sensitivity mechanical property and/or interfacial adhesion measurements
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Photomask Repair

Precise, accurate photomask repair systems address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
Stylus Profilometers

Stylus Metrology

Surface roughness characterization, step height measurements, and film stress analyses
Electronic-circuit-board-futuristic-server-code-teaser-STOCK

White Light Interferometry

Advanced WLI profilers provide robust metrology-based inspection for advanced packaging applications
clean-bare-wafers-teaser

X-Ray Defect Inspection

Bruker defect detection systems detect crystalline defects, such as cracks, slip, dislocations, and micropipes on single-crystal substrates
close-up-of-patterned-wafer-teaser

X-Ray Metrology for Compound Semi

Diverse x-ray metrology systems deliver high-quality QC monitoring and detailed R&D analysis of epi-layer films
Silicon-patterned-wafer-teaser

X-Ray Metrology for Silicon Semi

Non-destructive x-ray metrology solutions for thin-films identifying substrate defects and performing front end of line control of epi films and high-k dielectrics, as well as analyzing metal films and wafer-level packaging bumps

Support

How Can We Help?

Bruker partners with our customers to solve real-world application issues. We develop next-generation technologies and help customers select the right system and accessories. This partnership continues through training and extended service, long after the tools are sold.

Our highly trained team of support engineers, application scientists and subject-matter experts are wholly dedicated to maximizing your productivity with system service and upgrades, as well as application support and training.