Soluções de semicondutores
Assess and Improve Semiconductor Manufacturing Processes
Bruker’s comprehensive suite of specialized technologies addresses the broadest range of metrology and process monitoring needs, from R&D to high-volume manufacturing process improvement. 75% of the world’s top 25 semiconductor manufacturers rely on Bruker instrumentation for their front-end and back-end applications. Our commitment to innovation also drives the advances that enable continual development of next-generation semiconductor devices.
Our dedicated semiconductor solutions include:
- Ellipsometry and Reflectometry — Thin film metrology systems for wafer and CD metrology to meet requirements not measurable with conventional equipment
- Automated X-ray Metrology — Systems for high-quality process monitoring, detailed R&D analysis of epilayer films, identification of substrate defects, front-end-of-line control of epi films and high-k dielectrics, and analysis of metal films and wafer-level packaging bumps
- Automated Atomic Force Microscopy — Systems to reliably measure surface roughness, chemical mechanical planarization (CMP), and etch-depth features
- Photomask Repair — Systems to address the critical production issue of controlling pattern defects on high-end photomasks
- Cryo Dry Cleaning — Cryogenic CO2 process equipment to remove contaminants and residues from wafers and electronic devices
- Surface Metrology — Topographic measurement and mechanical testing solutions for efficient process monitoring and control across the full range of applications
Soluções de metrologia para semicondutores
A Bruker Semiconductor desenvolve, fabrica, comercializa e apoia soluções de metrologia para filmes finos, cuja base assenta na tecnologia de raios X inovadora, rápida, sem contacto e não destrutiva. Com a aquisição da Jordan Valley Semiconductors por parte da Bruker, um nome que é sinónimo de serviço e suporte ao cliente inigualáveis a nível mundial, 75% dos 25 maiores fabricantes mundiais de semicondutores confiam nas ferramentas de metrologia da Bruker para aplicações front-end e back-end, incluindo o desenvolvimento dos seus filmes finos da próxima geração. O compromisso da Bruker para com a inovação e liderança tecnológica impulsiona o lançamento contínuo de novos avanços na metrologia e tem ganho inúmeros prémios e reconhecimento da indústria.
Nas aplicações que vão desde a caracterização de materiais de filmes finos C-S à análise de substratos de wafers e deteção de defeitos, os sistemas da Bruker oferecem análise de simulação e adequação. Os tipos de medição HRXRD, XRR, WA-XRD e XRDI são totalmente suportados, proporcionando aos investigadores, engenheiros de produção e desenvolvedores de processos capacidades inigualáveis. Quer seja uma academia, centro de I&D ou fabricante de semicondutores e C-S, ou uma instalação de investigação de materiais industriais, a Bruker tem uma solução especificamente concebida para as suas necessidades de metrologia.
