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TEM 分析的最佳能量分辨率

Icon Energy Resolution

TEM/STEM 专用的 XFlash® 6 在 Mn Kα处可达到卓越的 126 eV,可提供分析复杂样品所需的能量分辨率。

XFlash® 6 探测器的能量级别

以 Mn Kα/eV
为单位的分辨率
以 F Kα/eV
为单位的分辨率
以 C Kα/eV
为单位的分辨率
1266051
1296757

 

所有 XFlash® 6 分辨率均优于 ISO 15632:2012 要求。

Deconvolution Results of a NiSi(Pt) Spectrum
Deconvolution results at low X-ray energy of a spectrum obtained from a NiSi(Pt)-NiSi2 junction on Si. The experimental spectrum is displayed as black outline and the deconvoluted quantified lines as solid colored peaks.

 

 

良好的能量分辨率显示了探测器在低能量范围中的真实能力,正如我们的半导体研究的示例所示。如果探测器产生的峰更窄,分峰将变得更加容易,这对于可靠的量化结果尤其重要。如图所示,这也适用于难以区分的重叠峰的情况(如 Pt N 和 C K)及噪声谱。