Micro-XRF on SEM

配备 XTrace 的 QUANTAX Micro-XRF

SEM 上的 Micro-XRF 分析

XTrace Mounted on a SEM

X射线的激发深度远远深于电子束的激发深度,而且对于中等元素至重元素范围内的元素,敏感度更是后者的 20 至 50 倍。由于激发原理不同,对于一些元素,检测限可高达 10 ppm。因此,可在SEM中进行微量元素分析。

专为最佳表现而设计

XTrace Functional Principle
Functional principle of Micro-XRF analysis
with the XTrace micro-spot X-ray source

XTrace 配备毛细导管光学元件,使低功率微焦点管的 X 射线束聚焦于 Mo Kα 辐射所需的 40 µm 以下的光斑尺寸。焦点可以和 SEM 电子束完美对准,确保对相同的样品位置进行分析。另外,XTrace 的工作距离已设定为约10mm,此设置的优点在于,光学元件在足够远的位置而不会和正常SEM操作相互干扰,不足之处是由于距离过远而不能提供良好的激发强度。可以使用 30 mm2 的探测器,能够产生高达 40 kcps的计数率。

在所有情况下都能提供卓越的激发强度

Resolution Tests with a Siemens Star
Maps of a chromium Siemens star,
showing the excellent resolution attainable
with XTrace, which can be further
improved by tilting it towards the X-ray
source

XTrace X 射线源管配备一组滤片,旋转滤片到恰当位置可产生需要的激发光谱和压制透明样品上的衍射峰。

为消除样品形貌引起的阴影和伪影,可将样品倾向 X 射线源,使 X射线垂直照射在样品上。这样做的另一个好处是进一步提高空间分辨率,如西门子星图所示。

与 QUANTAX EDS 完美整合

QUANTAX Micro-XRF 使用 QUANTAX EDS 系统的探测器和信号处理器。QUANTAX EDS 的 XFlash® 探测器可确保卓越的能量分辨率和信号处理电子元件的最高速度。 

这两个系统在一个界面中通过 ESPRIT 2.0 软件控制。点击鼠标即可改变分析方法。还可以整合这两种方法的结果获得最高的准确性,兼顾EDS对轻元素敏感的优势和XRF对重元素敏感的优势。

本软件通过使用SEM的样品台,可以实现选取分析、线扫和面分布。面分布和线扫描可以将每个像素点的图谱 (HyperMaps) 储存在一起,因此可以在线或离线分析。

下载 XTrace 手册 (PDF)

Download the XTrace brochure (PDF, English)