Micro-XRF on SEM

QUANTAX Micro-XRF con XTrace

Análisis de Micro-XRF en el SEM

XTrace Mounted on a SEM

La excitación con rayos X es mucho más eficiente que la excitación con electrones en el rango de elementos de medio a pesado, la sensibilidad es 20 a 50 veces mejor. Dependiendo del elemento y la matriz, se pueden alcanzar límites de detección de hasta 10 ppm. Esto permite el análisis de trazas en el SEM.

Diseñado para un rendimiento óptimo

XTrace Functional Principle
Functional principle of Micro-XRF analysis
with the XTrace micro-spot X-ray source

XTrace está equipado con óptica policapilar que enfoca el haz de rayos X de un tubo de microenfoque de baja potencia a puntos focales de tamaño por debajo de 40 µm para radiación Mo Kα. El punto focal se puede alinear perfectamente con el haz de electrones del SEM, asegurando el análisis de la misma posición de la muestra. Además, la distancia de trabajo de XTrace es de unos 10 mm. El efecto positivo es que la óptica está lo suficientemente alejada para no interferir con el funcionamiento normal del SEM, pero lo suficientemente cerca para proporcionar una excelente intensidad de excitación. Con un detector de 30 mm2 se pueden alcanzar tasas de impulsos en el rango de 40 kcps.

Excelente excitación bajo cualquier circunstancia

Resolution Tests with a Siemens Star
Maps of a chromium Siemens star,
showing the excellent resolution attainable
with XTrace, which can be further
improved by tilting it towards the X-ray
source

El tubo de la fuente de rayos X XTrace está equipado con un conjunto de filtros que pueden rotarse hasta alcanzar el espectro de excitación deseado y suprimir los picos de difracción en muestras cristalinas.

Las sombras y artefactos causados por la topografía de la muestra pueden ser contrarrestados inclinando la muestra hacia la fuente de rayos X e irradiándola, de esta forma, perpendicularmente. Otra ventaja de este procedimiento es la mejora de la resolución espacial, como muestra el mapa de la estrella siemens.

Perfecta integración con QUANTAX EDS

QUANTAX Micro-XRF utiliza el detector y la cadena de procesamiento de señales de un sistema QUANTAX EDS. El detector XFlash® del sistema QUANTAX EDS asegura una resolución energética excelente y la unidad de procesamiento de señales, la máxima velocidad.

Ambos sistemas funcionan con el software ESPRIT 2.0 bajo una única interfaz de usuario, siendo necesario un solo clic de ratón para cambiar de un método a otro. Los resultados se pueden combinar para obtener máxima precisión, haciendo uso del rendimiento superior en elementos ligeros de la excitación con electrones y la sensibilidad para elementos pesados de XRF.

El software también permite la medición de objetos, escaneos de línea y mapeados usando la platina del SEM. Los mapas y los escaneos de línea se almacenan con un espectro completo para cada punto (HyperMaps) y pueden por ello ser procesados posteriormente.

Descargue el folleto XTrace (PDF, inglés)