WDS, QUANTAX, Ultra-Sensitive, Wavelength-Dispersive Spectrometry, SEM

配备 XSense 的 QUANTAX WDS

真正的高分辨率

XSense on SEM

XSense 谱仪可实现 Si Kα 辐射所需的能量分辨率,范围为 4 eV。配备 6 个衍射(分析)晶体,此谱仪覆盖 100 eV 至 3.6 keV能量范围。具有部分重叠能量范围的大量晶体为当前选择的任务提供最佳选择。

高级正比计数器管理实现可靠结果

Bruker独特的计数器管理系统可控制计数器压强,并且自动进行高压和分光器设置。该功能在大大简化设备操作并且使气体消耗最小化的同时,确保计数器在任何环境条件下均维持在恒定的最佳工作状态,,从而有效提高分析结果的重现性和系统的可靠性。

接近极限的灵敏度

Molybdenum L Line WDS Spectrum
Comparing L line spectra of molybdenum
acquired with (solid) and without (outline)
secondary collimating optics

XSense谱仪的高级运动装置维持衍射晶体相对于入射光束在完整布拉格角范围上的完美定位,消除信号的损失。

精密光学系统——包括晶体和探测器之间的次级光学装置——将分辨率、峰背比和灵敏度推向极致。非磁性光学装置避免了光束偏移和图像畸变。

自动光学中心定位系统确保在任何情况下最佳的测量条件

Auto-Alignment Function of the Spectrometer Optics
Illustration of the auto-alignment function
of the XSense spectrometer optics

谱仪的光轴相对于当前样品点的精确对准对于平行光谱仪来说是至关重要的。XSense内部3轴全马达驱动台确保平行光光学装置达到亚微米级的快速、稳定的定位。只需轻触按键,系统即可在所有三个移动方向中查找最大的强度,自动完成精确的光学中心对准。

轻松实现谱仪设置和监控的触控面板

XSense配备的触摸面板可以直接控制和监测谱仪状态。它可以直接在系统上检查互锁功能,并且进行像门阀闭合和光学装置回退等基本操作。

与 EDS 完全集成

新的ESPRIT2.0软件完全整合了WDS和EDS。因此,可以对相同的位置进行测量,并将测量结果组合起来以提高定量结果的可靠性。

下载 XSense 传单 (PDF)

Download the XSense flyer (PDF, English)