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EDS für S/TEM Applikationen

Quantitative Analyse

Cliff-Lorimer Factor Editor

Die Quantifizierung von EDS-Spektren ist eine der wichtigsten Analyseschritte. ESPRIT nutzt ausgefeilte Werkzeuge zur Spektrenverarbeitung und -analyse, inklusive der Cliff-Lorimer-Routine für die eigentliche Quantifizierung. Dank der hohen Effizienz der XFlash® Detektoren können in jedem Energiebereich hervorragende Resultate erzielt werden. Das gilt sowohl für den Niedrigenergiebereich wie auch in der Region oberhalb 50 keV. Weitere Informationen

Charakterisierung einer Halbleiterstruktur

NiSi(Pt)-NiSi2 Junction, Quantitative Pt Map

Die zunehmend höhere Integration von Schaltkreisen macht die Elementanalytik von sehr kleinen Strukturen notwendig. Dieses Anwendungsbeispiel beschreibt die Charakterisierung eine Platin-legierten NiSi-NiSi2-Struktur. Weitere Informationen

EDS für biowissenschaftliche Proben

Bright Field Image and Single Element Maps of a Yeast Cell

Die außerordentlich gute Leichtelement-Performance der XFlash® Detektoren ermöglicht viele Anwendungen im Bereich der Biowissenschaften, z.B. Biomineralisation. Unser Anwendungsbeispiel behandelt eine Hefezelle, die mit Os eingefärbt und mit Ag gelabelt wurde. Weitere Informationen

Eine magnetische Nanostruktur

HAADF Image of a Magnetic Nanostructure with Layers Annotated

Dieses Applikationsbeispiel zeigt Element-Maps einer geschichteten magnetischen Nanostruktur, die auf einer SiO2-Kugel aufgebracht wurde. Grund- und magnetische Aufbauschichten können schnell und bequem lokalisiert und somit die Qualität des Produktionsprozesses beurteilt werden.  Weitere Informationen

Untersuchung eines Core-Shell-Partikels

HAADF Image of a Pd Pt Core Shell Particle Overlaid with Pd and Pt Mixed Element Map

Partikel mit einer Core-Shell-Struktur werden in der Nanotechnologie häufig verwendet, insbesondere in der Katalyse. Hier wird ein Pd-Pt-Core-Shell-Partikel qualitativ und quantitativ analysiert. Weitere Informationen

Chemische Phasenanalyse eines Schichtsystems

Chemical Phase Map of a Layer Structure

Chemische Phasenanalyse ist eine nützliche Ergänzung zum Element-Mapping im STEM. Dieses Anwendungsbeispiel zeigt wie ESPRIT Autophase verwendet werden kann, um ein Schichtsystem besser zu verstehen. Weitere Informationen

Chemische Charakterisierung von Nanodrähten

Nanowires, Mixed Element Map

Nanostrukturen, wie Nanodrähte und Nanostäbchen und funktionalisierte Nanovehikel sind von steigendem Interesse für diverse Anwendungen in der Nanotechnologie, sei es in der Nanoelektronik oder in der Verteilung von Medikamenten im menschlichen Körper. Multilayer-III-V-Nanodrähte für die Entwicklung von Einzel-Elektronen-Transistoren wurden mit einem Detektor untersucht der 0,12 sr Raumwinkel und 22° Abnahmewinkel bot. Weitere Informationen

EDS mit atomarer Auflösung

Map and Spectrum of an InGaAs Semiconductor Structure

EDS-Analytik kann auch an Cs-korrigierten STEMs durchgeführt werden, ohne die Performance der Geräte zu beeinflussen. Die Analyse einer InGaAs-Halbleiterpobe zeigt, dass sogar Variationen in der Elementzusammensetzung auf atomarer Ebene mit EDS identifiziert werden können. Weitere Infomationen

EDS-Analytik an einzelnen Atomen

Single Silicon Atom in Graphene
Single silicon atom in graphene

Die einzigartigen Fähigkeiten der XFlash® Detektoren für TEM unterstützen EDS mit der größtmöglichen Ortsauflösung. Dieses Anwendungsbeispiel befasst sich mit der Analyse einzelner Atome auf Graphen bei 60 kV in einem STEM. Weitere Informationen

Quantitative Analyse

Cliff-Lorimer Factor Editor

Die Quantifizierung von EDS-Spektren ist eine der wichtigsten Analyseschritte. ESPRIT nutzt ausgefeilte Werkzeuge zur Spektrenverarbeitung und -analyse, inklusive der Cliff-Lorimer-Routine für die eigentliche Quantifizierung. Dank der hohen Effizienz der XFlash® Detektoren können in jedem Energiebereich hervorragende Resultate erzielt werden. Das gilt sowohl für den Niedrigenergiebereich wie auch in der Region oberhalb 50 keV. Weitere Informationen