Banner for QUANTAX EDS on TEM

Chemische Phasenanalyse einer Schichtstruktur

Oft ist es sinnvoll Element-Maps weiter zu bearbeiten um ein klareres Bild der Probe zu erhalten. Dies wird hier am Beispiel einer Schichtstruktur gezeigt. Das erste Bild in der Galerie zeigt ein gemischtes quantitatives Element-Map. Es macht einen vergleichsweise "verrauschten" Eindruck. In dem Map wurden drei Bereiche definiert, die repräsentativ für die interessierende Probenregion sind, zwei größere Rechtecke und ein kleinerer kreisförmiger Bereich. Sie wurden für den Test der Prozedur verwendet.

Autophase kann im so genannten "Objekte"-Modus verwendet werden. Es nutzt dann die definierten Regionen als Referenzen in einer Hauptkomponentenanalyse, um ähnlich zusammengesetzte Bereiche im Map zu finden und diese Phasen zuzuweisen. Das zweite Bild in der Galerie zeigt die Ergebnisse. Zwei Phasen, die sich im Gehalt an Zn und Cd unterscheiden, können ausgemacht werden. Die Kohlenstoffkontamination die durch vorangegangene Linescans und Punktanalysen erzeugt wurde, wurde durch die Prozedur einer dritten Phase zugewiesen. Der graue Bereich links außerhalb der Region von Interesse ist "Unassigned" (nicht zugewiesen) und offensichtlich anders als die beiden anderen Phasen zusammengesetzt. Der Bereich rechts enthält offensichtlich ebenfalls Kohlenstoff.