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Die beste Energieauflösung für die TEM-Analytik

Icon Energy Resolution

Der XFlash® 6T für TEMs und STEMs ist mit 126 eV bei Mn-Kα lieferbar und bietet damit die ausgezeichnete Energieauflösung, die für die Analyse komplexer Proben benötigt wird.

Energieauflösungsklassen der XFlash® 6 Detektoren

Auflösung bei
Mn-Kα / eV
Auflösung bei
F-Kα / eV
Auflösung bei
C-Kα / eV
1266051
1296757

 

Die Spezifizierung aller XFlash® 6 Auflösungswerte übertrifft die in der ISO 15632:2012 gestellten Anforderungen.

Deconvolution Results of a NiSi(Pt) Spectrum
Deconvolution results at low X-ray energy of a spectrum obtained from a NiSi(Pt)-NiSi2 junction on Si. The experimental spectrum is displayed as black outline and the deconvoluted quantified lines as solid colored peaks.

Die wahre Stärke guter Energieauflösung zeigt sich im Bereich niedriger Energien, wie unser Beispiel aus der Halbleiterforschung verdeutlicht. Die Peak-Entfaltung, für zuverlässige Quantifizierung von besonderer Bedeutung, wird viel einfacher, wenn der Detektor schmälere Peaks erzeugt. Die Abbildung beweist, dass dies auch für schwierige Überlagerungen wie Pt-N und C-K und für verrauschte Spektren funktioniert.

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