Micro-XRF on SEM

QUANTAX Micro-XRF mit XTrace

Mikro-Röntgenfluoreszenzanalyse am REM

XTrace Mounted on a SEM

Die Röntgenanregung ist im mittleren bis schweren Elementbereich viel effizienter als die Elektronenanregung; die Empfindlichkeit ist 20 bis 50 mal höher. Je nach Element und Matrix, können Nachweisgrenzen von bis zu 10 ppm erreicht werden. Dies ermöglicht die Spurenelementanalyse mit dem REM.

Optimale Leistung

XTrace Functional Principle
Functional principle of Micro-XRF analysis
with the XTrace micro-spot X-ray source

XTrace ist mit einer Polykapillaroptik ausgestattet, die den Röntgenstrahl der Mikrofokusröntgenröhre auf Punktgrößen unter 40 µm für Mo-Kα-Strahlung fokussiert. Der Brennfleck wird dabei genau auf den REM-Elektronenstrahl justiert. So wird gewährleistet, dass die gleiche Stelle der Proble analysiert wird. Der Arbeitsabstand des XTrace wurde außerdem auf einen Wert von etwa 10 mm festgelegt. Der Vorteil dabei ist, dass die Optik einerseits weit genug ist, um Interferenzen mit dem normalen REM-Betrieb zu vermeiden. Anderseits ist sie nah genug, um exzellente Anregungsintensität zu liefern. Mit einem 30 mm2-Detektor werden Impulsraten von 40 kcps erzielt.

Exzellente Anregung unter allen Bedingungen

Resolution Tests with a Siemens Star
Maps of a chromium Siemens star,
showing the excellent resolution attainable
with XTrace, which can be further
improved by tilting it towards the X-ray
source

Die Röntgenröhre des XTrace verfügt über eine Reihe von Primärstrahlungsfiltern, die über einen Filterwechsel in den Strahlengang gebracht werden können, um das gewünschte Anregungsspektrum zu erzielen und Beugungs-Peaks bei kristallinen Proben zu unterdrücken.

Abschattungen und Artefakten, die durch die Probentopographie verursacht werden, kann entgegengewirkt werden, indem die Probe in Richtung Röntgenquelle gekippt und damit senkrecht bestrahlt wird.  Ein anderer positiver Nebeneffekt dieser Methode ist die Verbesserung der Ortsauflösung, wie in den Siemensstern-Maps gezeigt wird.

Perfekte Integration mit QUANTAX EDS

QUANTAX Micro-XRF verwendet den Detektor und die Signalverarbeitungseinheit eines QUANTAX EDS Systems. Der XFlash® Detektor des QUANTAX EDS liefert ausgezeichnete Energieauflösung und die Signalvrarbeitungseinheit die höchstmögliche Geschwindigkeit.

Beide Systeme werden über die gleiche Benutzeroberfläche der ESPRIT 2.0 Software gesteuert. Mit einem Mausklick kann zwischen Methoden gewechselt werden. Die Ergebnisse beider Methoden können kombiniert werden, um maximale Genauigkeit zu erreichen. So wird die starke Leistung im Leichtelementbereich der elektroneninduzierten Spektrometrie und die hohe Empflindlichkeit für schwere Elemente der RFA perfekt ausgenützt.

Die Software ermöglicht auch die Messung von Objekten, Linescans und Maps unter Verwendung des REM-Probentisches. Bei Maps and Linescans wird ein Spektrum für jeden Messpunkt gespeichert (HyperMaps). Die Nachbearbeitung kann daher on- oder offline erfolgen.

XTrace Broschüre (PDF, englisch) herunterladen

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