WDS, QUANTAX, Ultra-Sensitive, Wavelength-Dispersive Spectrometry, SEM

QUANTAX WDS mit XSense

Hohe Auflösung da, wo sie wirklich zählt

XSense on SEM

Der XSense Spektrometer liefert eine Energieauflösung von 4 eV für Si-Kα-Strahlung. Die Ausstattung mit 6 Analysatorkristallen ermöglicht es, den Energiebereich von 100 eV bis zu 3,6 keV abzudecken. Diese hohe Anzahl an Kristallen, mit sich teilweise überlappenden Energiebereichen, sorgt dafür, dass für die aktuelle analytische Aufgabe immer der am besten passende Kristall gewählt wird.

Zuverlässige Ergebnisse durch leistungsfähiges Proportionalzählermanagement

Brukers einzigartiges Zählermanagementsystem ermöglicht die Drucksteuerung des Proportionalzählers und die automatische Durchführung von Hochspannungs- und Diskriminatoreinstellungen. Dadurch sind einerseits eine Vereinfachung der Gerätebedienung sowie eine Minimierung des Gasverbrauchs möglich. Anderseits wird gewährleistet, dass die Zählereigenschaften unter allen Umgebungsbedingungen konstant bleiben. Dies verbessert die Reproduzierbarkeit und die Zuverlässigkeit des Systems.

Nah an den Grenzen der Empfindlichkeit

Molybdenum L Line WDS Spectrum
Comparing L line spectra of molybdenum
acquired with (solid) and without (outline)
secondary collimating optics

Die komplexe Kinematik des XSense Spektrometers sorgt für eine perfekte Positionierung der Analysatorkristalle in bezug auf die einfallende Strahlung über den kompletten Bragg-Winkelbereich und vermeidet damit Signalverluste.

Die hochentwickelte Optik, die auch eine Sekundäroptik zwischen Kristall und Detektor einschließt, verbessert die Energieauflösung, das Peak-zu-Untergrund-Verhältnis und die Empfindlichkeit maßgeblich. Die nicht-magnetische Primäroptik vermeidet Strahlverschiebungen und Bildverzerrungen.

Optimale Messbedingungen durch automatische Justage der Optik

Auto-Alignment Function of the Spectrometer Optics
Illustration of the auto-alignment function
of the XSense spectrometer optics

Die präzise Justage der optischen Achse des Spektrometers gegenüber der aktuellen Probenposition ist von hoher Bedeutung in Parallelstrahl-Spektrometrie. XSense ist mit einem internen, vollmotorisierten 3-Achsen-Probentisch ausgestattet, der eine schnelle und stabile Positionierung der Parallelstrahl-Optik mit Submikrometer-Auflösung ermöglicht. Ein intelligenter Algorithmus führt mit nur einem Klick die korrekte Justage durch, indem die maximale Intensität innerhalb der drei Bewegungsrichtungen gesucht wird.

Interaktives Bedienfeld für Einstell- und Überwachungsoptionen

Das interaktive Bedienfeld des XSense Spektrometers erlaubt die direkte Steuerung des Messstatus des Spektrometers. Dabei kann die Sperrfunktion überprüft und einfache Einstellungen, wie die Öffnung und Schließung des Schieberventils oder das Zurückziehen der Optik, durchgeführt werden.

Komplette Integration mit EDS

Die neue ESPRIT 2.0 Software bietet eine komplette Integration von WDS und EDS. Dies ermöglicht die Durchführung von Messungen an der gleichen Stelle, sowie die Kombination der Ergebnisse, um eine verbesserte Zuverlässigkeit der Quantifizierung zu gewährleisten.

XSense Flyer (PDF, englisch) herunterladen

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