Nanochemical Atomic Force Microscopes
Multimode 8-HR AFM
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Multimode 8-HR AFM

半導体プロセス用測定装置

Brukerセミコンダクタ部門は迅速で全く新しい非破壊X線測定技術に基づく、薄膜用測定技術の開発、販売及びサポートを行っております。Brukerの半導体用測定装置は、比類ない世界的な顧客サービスとサポートで知られるJordan Valley社を買収した結果、半導体世界トップ25社のうち実に75%において最先端薄膜の開発やフロント及びバックエンドプロセスに用いられるようになりました。

化合物薄膜材料の分析からウェーハ基板の欠陥検出まで、Brukerのシステムはシミュレーションとフィッティングによる解析を提供します。 高分解能測定(HRXRDX線反射率測定(XRR、広角X線(WA-XRD、およびトポグラフィー欠陥検査(XRDI測定を完全にサポートし、研究者、生産技術、およびプロセス開発者は比類のない機能を利用できます。Si半導体や化合物半導体、研究開発や大学、材料研究施設など、Brukerはニーズに合わせて特別に設計されたソリューションを提供しています。

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