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QUANTAX FlatQUAD

X선 검출의 효율성 극대화

Tip of the XFlash® FlatQUAD
Tip of the XFlash®
FlatQUAD

 QUANTAX FlatQUAD는 혁신적인 XFlash® FlatQUAD 기반의 EDS 미세 분석시스템입니다. 고리 모양의 4채널 실리콘 드리프트 검출기(SDD)를 SEM 폴 피스(pole piece)와 시료 사이에 삽입하여 EDS에서 최대 입체각을 확보합니다. QUANTAX FlatQUAD는 ESPRIT 분석 소프트웨어 제품군과 함께 작동하여 가장 까다로운 시료에도 최고의 매핑 성능을 제공합니다.

 

 

XFlash® FlatQUAD의 특징

XFlash® FlatQUAD 사이드 엔트리(side entry) 검출기로서, SEM 피스와 시료 사이에 위치합니다.
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전자 빔은 중앙 홀을 통과할 있으며, 중앙 주위에 4개의 검출기 세그먼트가 배치됩니다. 방사 집합(radiation collection) 달성 가능한 입체각은 검출기와 시료 사이의 거리에 따라 결정되며, SEM 스테이지의 Z 드라이브를 사용하여 변경할 있습니다. 포함된 전자 흡수 polymer window 현장에서 변경할 있습니다.

XFlash® Flat QUAD의 고유 사용 분야

XFlash® FlatQUAD는 다음과 같이 기존의 SDD로 도달할 수 없는 곳에서 성능을 발휘합니다.

  • 약한 빔 전류만 사용하여, 초고출력 카운트 속도로 신속하게 매핑
  • 낮은 빔 전류와 극히 낮은 빔 전류(< 10 pA)를 통한 빔에 민감한 재료 (예: 생물 또는 반도체 시료) 분석
  • Shadowing effect 없이 복잡한 형상의 시료 조사
  • 낮은 kV와 최고 배율을 통한 나노입자 및 나노구조 분석
  • 낮은 X-선 효율을 가지는 얇은 시료(예: TEM 박판) 및 기타 시편의 측정