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Difracción Kikuchi de transmisión en una película fina de silicio de grano fino

EBSD se puede aplicar a la mayoría de los materiales cristalinos con excepción de nanomateriales con diámetros de grano/célula de menos de 100 nanómetros. La limitación viene dada por la resolución espacial de la técnica para cada experimento particular.

Aunque una reducción del voltaje de aceleración puede suponer una mejora considerable de la resolución espacial, existen muchos materiales que son difíciles de caraterizar usando la técnica EBSD. La técnica de difracción Kikuchi de transmisión (TKD) ha sido introducida recientemente como un método basado en SEM capaz de obtener el mismo tipo de resultados que EBSD pero con una resolución espacial mejorada en una orden de magnitud. TKD necesita la infraestructura de EBSD (hardware y software) y una muestra lo suficientemente fina para ser transparente a los electrones, por ejemplo, lamelas finas de TEM.

El sistema QUANTAX EBSD de Bruker es capaz de realizar mapeados automáticos usando la técnica TKD. El modo TKD ha sido diseñado para permitir de forma sencilla la adquisición de datos de alta calidad, sin importar el nivel de experiencia del usuario. Además, CrystAlign posee un extraordinario sistema de formación de imágenes FSE/BSE, ARGUS™, que puede usarse para adquirir imágenes de contraste de orientación con una resolución nunca vista.

En este ejemplo, los resultados se obtuvieron del análisis con las dos técnicas de una película ultrafina de Si de grano fino depositada en un sustrato de cristal. Los resultados de EBSD se obtuvieron con 7 kV de voltaje de excitación y un intervalo de 30 nm, mientras que los resultados de TKD se obtuvieron usando una aceleración de 30 kV y un intervalo de 11 nm. Cabe destacar que no se aplicó ningún tipo de limpieza de datos a los resultados.

Un agradecimiento especial a Anna Lendvai (Technoorg Linda Ltd., Hungría) por ayudar con el delicado proceso de apartar el sustrato de cristal necesario para las mediciones de TKD.