Banner for QUANTAX EDS on TEM

Лучшая разрешающая способность по энергии для ПЭМ анализа

Icon Energy Resolution

Предлагаемый XFlash® 6T для ПЭМ / РПЭМ гарантирует спектральное разрешение на линии Mn Kα 126 эВ, что обеспечивает разрешающую способность по энергии, необходимую для анализа комплексных образцов.

Энергетические классы детекторов XFlash® 6

Разрешение при
Mn Kα / эВ
Разрешение при
F Kα / эВ
Разрешение при
C Kα / эВ
1266051
1296757

 

Все величины разрешения XFlash® 6 превышают требования ISO 15632:2012.

Deconvolution Results of a NiSi(Pt) Spectrum
Deconvolution results at low X-ray energy of a spectrum obtained from a NiSi(Pt)-NiSi2 junction on Si. The experimental spectrum is displayed as black outline and the deconvoluted quantified lines as solid colored peaks.

 

 

Хорошая разрешающая способность по энергии по-настоящему проявляется в низкоэнергетическом диапазоне, как это видно в нашем примере из исследования полупроводников. Деконволюция пиков, особенно важная для достоверных результатов квантификации, становится намного более простой, если детектор генерирует более узкие пики. Как видно из рисунка, это работает хорошо также для трудных перекрытий, таких как Pt N и C K, и в спектрах шумов.