Micro-XRF on SEM

QUANTAX Micro-XRF с XTrace

Рентгенофлуоресцентный анализ на РЭМ

XTrace Mounted on a SEM

Возбуждение рентгеновским излучением значительно более эффективно, чем электронное возбуждение в диапазоне от средних до тяжелых по атомному весу элементов, чувствительность в 20 - 50 раз выше. В зависимости от элемента и матрицы можно достичь границ обнаружения до 10 ppm. Это позволяет анализ на микроэлементы в РЭМ.

Предназначенный для оптимальной работы

XTrace Functional Principle
Functional principle of Micro-XRF analysis
with the XTrace micro-spot X-ray source

Источник XTrace оснащен многокапиллярной оптической системой, фокусирующей пучок рентгеновских лучей маломощной микрофокусированной лампы до пятна размером менее 40 мкм для излучения Mo Kα. Фокальное пятно может быть отлично выверено по электронному пучку РЭМ, обеспечивая анализ образца в том же положении. Кроме того рабочий интервал XTrace установлен на значение приблизительно 10 мм. Положительным эффектом является то, что оптическая система достаточно удалена, чтобы не мешать нормальной работе РЭМ, но все еще достаточно близка, чтобы обеспечить превосходную мощность возбуждения. Используя детектор с рабочей площадью 30 mm2,  можно получить скорости счёта в диапазоне 40 кГц.

Отличное возбуждение при любых условиях

Resolution Tests with a Siemens Star
Maps of a chromium Siemens star,
showing the excellent resolution attainable
with XTrace, which can be further
improved by tilting it towards the X-ray
source

Лампа рентгеновского источника XTrace оборудована рядом фильтров, которые можно повернуть в нужное место, чтобы генерировать требуемый спектр возбуждения и подавить дифракционные максимумы на кристаллических образцах.

Затенению и артефактам, вызываемым топографией образца, можно противодействовать, наклоняя его к рентгеновскому источнику и обеспечивая таким образом  перпендикулярность его облучения. Другим полезным эффектом этой процедуры является дальнейшее повышение пространственного разрешения, как это видно из диаграмм-звезд Сименса.

Идеальная интеграция с энергодисперсионным микроанализатором QUANTAX EDS

QUANTAX Micro-XRF использует детектор и тракт обработки сигнала системы энергодисперсионного микроанализа QUANTAX EDS. Детектор XFlash® системы QUANTAX EDS обеспечивает превосходную разрешающую способность по энергии и максимально возможную скорость обработки сигналов электронными блоками.

Обе системы управляются программным обеспечением ESPRIT 2.0 с единым интерфейсом. Методы можно менять щелчком мыши. Результаты обоих методов могут быть скомбинированы для получения оптимальной точности за счет идеального использования рабочих характеристик анализатора ЭДС по отношению к лёгким элементам с их излучением под действием электронов, и чувствительности РФА к тяжелым элементам.

Программное обеспечение поддерживает также измерение объектов, строчных развёрток и диаграмм, используя предметный столик РЭМ. Диаграммы и строчные развёртки запоминаются с полными спектрами в каждой точке (ГиперКарты) и могут таким образом обрабатываться в режимах онлайн или офлайн.

Загрузить брошюру XTrace (в формате PDF на английском языке).