Micro-XRF on SEM

Micro-XRF QUANTAX avec XTrace

L'analyse Micro-XRF dans un MEB

XTrace Mounted on a SEM

L'excitation à partir de rayons X est nettement plus efficace que l'excitation électronique pour les atomes moyens à lourds, la sensibilité est de 20 à 50 fois meilleure. En fonction de l'élément et de la matrice, les limites de détection jusqu'à 10 ppm peuvent être atteintes. Ceci permet d'analyser les éléments traces d'un échantillon dans un MEB.

Conçu pour une performance optimale

XTrace Functional Principle
Functional principle of Micro-XRF analysis
with the XTrace micro-spot X-ray source

XTrace est équipé d'optiques polycapillaires qui focalise le faisceau de rayons X d'un tube micro-foyer basse puissance dans un spot de taille inférieure à 40 µm pour la raie Kα du Mo. Pour l'analyse de la même zone qu'en EDS, le spot de X-Trace est focalisé sur l'échantillon à l'intersection de l'axe optique du MEB et à la WD analytique optimale (d'environ 10 mm en général). Le système optique est assez loin pour ne pas interférer avec le fonctionnement normal du MEB, mais suffisamment proche pour une intensité maximale. Un taux de comptage d'environ 40 kcps peut être obtenu à partir d'un détecteur de 30 mm2.

Excitation excellente dans toutes les conditions

Resolution Tests with a Siemens Star
Maps of a chromium Siemens star,
showing the excellent resolution attainable
with XTrace, which can be further
improved by tilting it towards the X-ray
source

La source de rayons X XTrace est équipée d'un ensemble de filtres placés sur un barillet qui permettent de faire varier le spectre d'excitation et de supprimer les pics de diffraction sur les échantillons cristallins.

Les effets d'ombre et les artefacts causés par la topographie de l'échantillon peuvent être diminués en inclinant l'échantillon vers la source de rayons X et en l'irradiant ainsi à la perpendiculaire. Cette procédure améliore également la résolution spatiale, comme on peut le voir sur la carte de l'étoile de Siemens.

Intégration parfaite avec l'EDS QUANTAX

La Micro-XRF QUANTAX utilise le détecteur et la chaîne de traitement du signal du système EDS QUANTAX. Le détecteur XFlash® de l'EDS QUANTAX assure une excellente résolution en énergie et un traitement du signal optimal à taux de comptage élevé.

Les deux systèmes sont contrôlés par le logiciel ESPRIT 2.0 par une seule et même interface. Un simple clic de la souris permet de passer d'une technique à l'autre. Les résultats des deux techniques peuvent être combinés pour une précision optimale, ce qui permet de bénéficier des performances de l'EDS dans les basses énergies et de la sensibilité de la micro-XRF pour les photons de haute énergie.

Le logiciel peut également procéder à l'analyse sur des zones de l'objet ou acquérir des profils et des cartographies élémentaires en pilotant la platine du microscope. Les cartographies et les profils élémentaires sont enregistrés avec un spectre complet pour chaque point de mesure (HyperMaps) et peuvent être ensuite traités à la volée ou a posteriori.

Télécharger la brochure XTrace (PDF, en anglais)

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