WDS, QUANTAX, Ultra-Sensitive, Wavelength-Dispersive Spectrometry, SEM

QUANTAX WDS avec XSense

La haute résolution là où elle compte vraiment

XSense on SEM

Le spectromètre XSense offre une résolution de 4 eV pour la raie Kα du silicium. Doté de 6 cristaux monochromateurs , il couvre la gamme d'énergie de 100 eV à 3,6 keV. Le grand nombre de cristaux couvrant des gammes d'énergie se chevauchant partiellement  garantit la sélection la plus appropriée.

Gestion avancée du compteur proportionnel pour des résultats fiables

Le système de gestion du compteur de Bruker contrôle la pression du compteur et règle automatiquement la haute tension et les paramètres du discriminateur. Cela facilite non seulement le fonctionnement du système et réduit la consommation de gaz, mais garantit aussi que les caractéristiques du compteur restent constantes. La reproductibilité et la fiabilité du système sont améliorées.

Une sensibilité accrue

Molybdenum L Line WDS Spectrum
Comparing L line spectra of molybdenum
acquired with (solid) and without (outline)
secondary collimating optics

Grâce aux mouvements évolués du spectromètre XSense, les cristaux monochromateurs sont toujours parfaitement positionnés pour le faisceau incident sur toute la gamme angulaire, il n'y a pas de perte de signal.

Le système optique sophistiqué – y compris l'optique secondaire entre le cristal et le détecteur – améliore la résolution, le rapport pic sur bruit et la sensibilité. L'optique du faisceau primaire est non magnétique, évitant ainsi la dérive du faisceau primaire et une distorsion de l'image.

Conditions de mesure optimales grâce à l'autoalignement du système optique

Auto-Alignment Function of the Spectrometer Optics
Illustration of the auto-alignment function
of the XSense spectrometer optics

L'alignement précis de l'axe optique du spectromètre par rapport à la position du spot sur l'échantillon est capital dans la spectrométrie à faisceau parallèle. XSense est équipé d'une platine interne à trois axes entièrement motorisée pour assurer le positionnement rapide et stable de l'optique du faisceau parallèle avec une précision sub-micrométrique. Un algorithme "intelligent" procède à l'alignement automatique en recherchant l'intensité maximale dans les trois directions du mouvement.

Panneau de contrôle tactile pour l'installation et la surveillance

Le panneau de contrôle tactile de XSense permet à l'utilisateur de contrôler les paramètres du spectromètre. Les sécurités peuvent être contrôlées et des réglages de base peuvent être effectués. Ceci inclut l'ouverture et la fermeture du clapet obturateur, la rétraction du système optique, etc.

Intégration totale avec EDS

Le nouveau logiciel ESPRIT 2.0 offre l'intégration totale du WDS et de l'EDS. Les mesures peuvent être effectuées ensemble et les résultats peuvent être combinés en particulier pour la  quantification.

Télécharger la brochure XSense (PDF, anglais)

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