WDS, QUANTAX, Ultra-Sensitive, Wavelength-Dispersive Spectrometry, SEM

QUANTAX WDS с XSense

Высокая разрешающая способность, когда она действительно важна

XSense on SEM

На спектрометре XSense достигаются значения разрешающей способности по энергии в диапазоне 4 эВ для излучения на линии Si Kα. Оборудованный 6 дифракционными кристаллами-анализаторами он покрывает диапазон энергий от 100 эВ до 3,6 кэВ. Большое количество кристаллов с частично перекрывающимися диапазонами энергий гарантируют, что для текущей задачи выбрано наилучшее соответствие.

Усовершенствованное управление работой пропорциональных счетчиков для получения достоверных результатов

Единственная в своем роде система управления счетчиками Bruker регулирует давление счетчков и автоматически выполняет установку высокого напряжения и параметров дискриминатора. Кроме того, что это упрощает работу прибора и минимизирует расход газа, это также гарантирует, что характеристики счетчиков остаются постоянными при всех условиях окружающей среды. Это увеличивает надежность системы и воспроизводимость.

Расширение пределов чувствительности

Molybdenum L Line WDS Spectrum
Comparing L line spectra of molybdenum
acquired with (solid) and without (outline)
secondary collimating optics

Усовершенствованная кинематика спектрометра XSense гарантирует, что дифракционные кристаллы всегда отлично устанавливаются относительно поступающего пучка по полному диапазону Брэгговского угла. Это устраняет потерю сигнала.

Сложная оптическая система, включая вторичную оптику между кристаллом и детектором, расширяет разрешение, отношение пик/фон и чувствительность до их предельных значений. Немагнитная оптика первичного пучка позволяет избежать сдвига пучка и искажения изображения.

Оптимальный режим измерений с помощью автоюстировки оптики

Auto-Alignment Function of the Spectrometer Optics
Illustration of the auto-alignment function
of the XSense spectrometer optics

Точная юстировка оптической оси спектрометра относительно текущего пятна образца является решающей в спектрометрии с параллельным пучком. XSense оборудован внутренним полностью механизированным трехкоординатным предметным столиком для поддержки быстрого и стабильного позиционирования оптики параллельного пучка с субмикронным разрешением. Интеллектуальный алгоритм обеспечивает правильную юстировку прикосновением к одной клавише, находя максимальную интенсивность во всех трех направлениях перемещения.

Сенсорная панель управления для установки и контроля

Дисплей сенсорной панели XSense позволяет прямой контроль состояния спектрометра пользователем. Могут быть проверены функции блокировки и выполнены основные операции установки. Они включают отрывание и закрывание вакуумного затвора, втягивание оптики и прочее.

Полная интеграция с энергодисперсионным анализатором EDS

Новый программный пакет ESPRIT 2.0 обеспечивает полную интеграцию WDS и EDS. Измерения могут проводиться на том же самом месте, а результаты могут быть объединены для повышения надежности квантификации.

Загрузить рекламную листовку XSense (в формате PDF на английском языке)