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SEM用EDSシステムQUANTAXシリーズ

スリムラインテクノロジー エネルギー分散型X線分析器

QUANTAX with XFlash® 6

新世代のブルカー製 EDS検出器 XFlash® 6はX線検出器素子面積を10 mm2から100 mm2までご用意しております。

この第6世代のEDS検出器、さらに最新の解析ソフトウエアは最も高速で高精度の分析を実現したものです。

  • 高速分析―第6世代のX線検出器はSDD検出器の有効素子面積の拡大に加えてパルスプロセッシング速度の大幅な向上と相まって大幅な分析時間の短縮を実現しました。
  • イージーオペレーション―電子顕微鏡に取り付ける検出器本体の小型軽量化と検出器挿入機構の電動化により検出器の取り扱いが容易になりました。
  • 分析精度の向上―X線検出器のエネルギー分解能の向上によりピークのオーバーラップが減少し、より精度の高い分析が可能になりました。また、定性、定量分析に用いるデータベースはKα線、Kβ線などの主要な特性線だけでなく、4 kV以下の低エネルギー範囲で250のL, M, N線といったマイナーなピークのエネルギーと強度の情報を持っており、特に微量元素を含む定量分析で大きな精度向上を実現しています。

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