挑戦的な作業に最良のエネルギー分解能

Icon Energy Resolution

XFlash® 6 は、Mn Kα で類を見ない 121 eV を備え、特に、1 keV 以下の低エネルギー範囲と軽元素における、複雑な試料の分析に必要な卓越したエネルギー分解能を提供しています。

XFlash® 6 検出器のエネルギークラス

Mn Kα / eV
の分解能
F Kα / eV
の分解能
C Kα / eV
の分解能
1214738
1235345
1266051
1296757

 

XFlash® 6 の分解能は全て、ISO 15632:2012 の要件よりも優れた仕様になっています。

Tungsten and Silicon Low Energy Spectra
Low energy range spectra acquired with
121 eV

優れたエネルギー分解の重要さは、左の図表で描写しています。ここでは、121 eV XFlash® 検出器で測定したSiスペクトルおよびWスペクトルの低エネルギー範囲のオーバーレイが含まれています。この検出器の優れたエネルギー分解能は、Si K ラインと W M ラインを分離するのに、ほぼ十分であることをご留意ください。また、励起電圧は7 kV において比較的高いにも関わらず、Si L ラインははっきりと認められ、W N ラインは炭素汚染のピークの低エネルギー斜面で見ることができます。イメージの挿入で見られるデコンボリューション結果からこの発見を確認できます。