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TEM 分析の最良のエネルギー分解能

Icon Energy Resolution

TEM / STEM 用の XFlash® 6T は、複合試料の分析に必要なエネルギー分解能を提供する Mn Kα の高級 126 eV 装備の機種が用意されています。

XFlash® 6 検出器のエネルギークラス

Mn Kα / eV
の分解能
F Kα / eV
の分解能
C Kα / eV
の分解能
1266051
1296757

 

All XFlash® 6 分解能は、ISO 15632:2012 の要件を超える仕様になっています。

Deconvolution Results of a NiSi(Pt) Spectrum
Deconvolution results at low X-ray energy of a spectrum obtained from a NiSi(Pt)-NiSi2 junction on Si. The experimental spectrum is displayed as black outline and the deconvoluted quantified lines as solid colored peaks.

 

 

優れたエネルギー分解能は、半導体のリサーチが示す当社の例のように、低いエネルギー範囲において、真の強さを発揮します。検出器が狭いピークを示している場合、定量化の結果の信頼性において特に重要となる、ピークのデコンボルーションが、はるかに簡単になります。図表が示しているように、Pt N と C K、および 騒音の高いスペクトルなど、困難な重複に対しても正しく機能します。