Micro-XRF on SEM

XTrace 装備の QUANTAX Micro-XRF

SEM の Micro-XRF 分析

XTrace Mounted on a SEM

X線励起は、中間元素領域から重元素領域における電子励起よりも、はるかに効率が高く、感度も20倍から50倍の向上を示しています。元素およびマトリックスによっては、検出の下限が10 ppmまでの達成が可能です。これにより、SEMでトレース元素検出ができるようになります。

最適な性能を発揮する設計

XTrace Functional Principle
Functional principle of Micro-XRF analysis
with the XTrace micro-spot X-ray source

XTrace は、Mo Kα 放射線の 40 µm 以下のスポットサイズまでの低電力の微小焦点管のX線ビームに重点を定めたポリキャピラリー光学素子を備えています。焦点のスポットは、同じ試料の位置の分析を保証するSEM 電子ビームに寸分の狂いもなく揃えることができます。さらに、XTrace の作動間隔は、約10mm の値に設定されています。利点は、光学素子が、通常のSEM 作業には干渉しない十分過ぎる間隔を保ちながら、優れた励起強度を与えられるほど接していることです。40 kcpsの範囲内にあるカウントレートは、30 mm2 検出器を用いて測定されます。

あらゆる条件下における卓越した励起

Resolution Tests with a Siemens Star
Maps of a chromium Siemens star,
showing the excellent resolution attainable
with XTrace, which can be further
improved by tilting it towards the X-ray
source

XTrace の X線源の菅は、任意の励起スペクトルを生成し、結晶質の試料で回析ピークを抑える場所に回転できるフィルター・セットを備えています。

試料のトポグラフィーを原因とするシャドーイングと乱れは、X線源に対する試料を傾斜させ、垂直に放射させることによって対処できます。このプロセスのもうひとつの有用な効果は、シーメンスのスターマップが示しているように、さらに向上した空間の分解能です。

QUANTAX EDS との完璧な統合

QUANTAX Micro-XRF は、QUANTAX EDS システムの検出器と信号処理チェーンを応用しています。QUANTAX EDS の XFlash® 検出器は、優れたエネルギー分解能および信号処理電子機器の最高速度を保証します。

両システムは単一インターフェースによるESPRIT 2.0ソフトウェアによって制御され、マウスのクリックひとつでメソッドを変えることができます。両メソッドの結果は、EDSを誘導させた電子の軽元素の能力およびXRFの重元素の感度を完璧に応用した最適な精度を得るために結合させることができます。

また、ソフトウェアは、対物の測定、ラインスキャン、SEM試料ステージを用いたマップなどをサポートしています。マップとラインスキャンは、各ポイント(ハイパーマップ)で全スペクトルと共に保存されているので、オンラインでもオフラインでも処理することができます。

XTrace のパンフレットのダウンロード(PDF、英語)

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