WDS, QUANTAX, Ultra-Sensitive, Wavelength-Dispersive Spectrometry, SEM

XSense 装備の QUANTAX WDS

高い信頼性を保証する高分解能

XSense on SEM

XSense 分光器は、Si Kα 放射線に対する 4 eV の範囲におけるエネルギー分解能を達成しています。6個の回析(分析)結晶を備え、100 eV から 3.6 keV までのエネルギー範囲をカバーします。部分的にエネルギー範囲に重なっている非常に多数の結晶によって、作業中の最適な選択が保証されます。

信頼性の高い結果を得る、先進的な比例カウンター管理

ブルカーの個性的なカウンター管理システムはカウンター圧力を制御し、高圧設定および弁別装置の設定を自動的に行います。装置の使いやすさだけではなく、ガス消費量を最小に抑えると共に、カウンター特性があらゆる環境条件の下で安定して保持されることが保証されます。これにより、再現性とシステムの信頼性が高まります。

感度の限界をさらに上げる挑戦

Molybdenum L Line WDS Spectrum
Comparing L line spectra of molybdenum
acquired with (solid) and without (outline)
secondary collimating optics

先進的な分光器 XSense の動力学により、回折結晶はブラッグ角の全ての範囲を超えた入力ビームに沿って、回折結晶が常に完璧な位置に収まることが保証されます。ここで、信号ロスは除去されます。                                                            結晶と検出器を含む精巧な光学システムは、分解能、P-B比、感度を、それらの限界値まで押し付けます。非磁性の最初のビーム光学によって、ビームシフトおよびイメージの歪みを回避することができます。

結晶と検出器を含む精巧な光学システムは、分解能、P-B比、感度を、それらの限界値まで押し付けます。非磁性の最初のビーム光学によって、ビームシフトおよびイメージの歪みを回避することができます。

光学の自動調整を通した、最適な測定条件

Auto-Alignment Function of the Spectrometer Optics
Illustration of the auto-alignment function
of the XSense spectrometer optics

作業中の試料スポットに沿った分光器の正確な光軸合わせは、平行ビーム光学において最も重要なポイントです。XSense は、サブマイクロメーター分解能を備えた平行ビーム光学の、高速且つ安定した位置決めをサポートするために、内部で完全に動力化された3台の軸ステージを装備しています。スマートアルゴリズムが、3方向の全ての移動における最大強度を見つけることにより、キータッチで正確な位置合わせを提供します。

設定と監視のタッチ制御パネル

XSense のタッチパネル・ディスプレイによって、分光計の状態の制御を直接行えるようになります。インターロック機能を確認して、基本的な設定の操作を行うことができます。これらには、ゲートバルブの開閉、レンズの収納、その他も含まれます。

EDS を備えた完全な統合

新しい ESPRIT 2.0 ソフトウェアでは、WDS と EDS が完全に統合されています。測定は同じスポットで行うことができ、定量化の向上した信頼性のために、結果を結合させることができます。

XSense リフレットのダウンロード(PDF、英語)